Негерметичность может привести к подсосу атмосферы в рабочую зону, нарушению химических реакций или загрязнению технологической среды. В системах с агрессивными газами или высокотемпературными процессами это создаёт риски для персонала и оборудования.
Утечки приводят к расходу дорогостоящих технологических газов, потере вакуума и снижению производительности установок. Своевременное обнаружение течи экономит ресурсы и сокращает простои.
Неконтролируемое падение вакуума увеличивает нагрузку на насосы, загрязняет масло в форвакуумных системах и ускоряет износ уплотнений. Регулярное течеискание продлевает срок службы вакуумного оборудования и снижает затраты на ремонт.
В микроэлектронике, производстве полупроводников, научных исследованиях и т.п. требования к вакуумной герметичности строго регламентированы. Профессиональная диагностика позволяет подтвердить соответствие системы техническим нормам и избежать брака продукции.
Высокий и сверхвысокий вакуум невозможен без абсолютной герметичности всех соединений, фланцев и сварных швов. Гелиевое течеискание — единственный метод, позволяющий обнаружить утечки на уровне 10⁻¹³ Па·м³/с и ниже.
Мы не просто локализуем утечки — мы анализируем их природу, даём рекомендации по устранению и помогаем выстроить долгосрочную стратегию поддержания герметичности системы.
Для проведения течеискания мы используем портативный гелиевый масс-спектрометрический течеискатель SuperQ 280HС — профессиональное решение для диагностики вакуумных систем любой конфигурации.
Ключевые характеристики:
Течеискатель SuperQ 280HС мобилен, не требует длительной подготовки и позволяет проводить диагностику непосредственно на объекте заказчика — в производственных цехах, лабораториях или на экспериментальных установках.
Течеискатель работает по принципу масс-спектрометрического анализа газового потока. Вакуумная система прибора откачивает газ через входной порт до рабочего давления, при котором масс-спектрометр способен селективно регистрировать атомы гелия с массой 4.
При обдуве гелием зоны потенциальной утечки (в вакуумном режиме) или подаче гелия внутрь системы (в напорном режиме) он проникает через дефект и попадает в поток газа, откачиваемого течеискателем. Масс-спектрометр мгновенно фиксирует изменение концентрации гелия, что позволяет локализовать утечку и измерить её скорость.
От компактных лабораторных до крупногабаритных промышленных систем. Диагностика фланцевых соединений, смотровых окон, вводов коммуникаций и сварных швов корпуса.
Системы магнетронного напыления, электронно-лучевого испарения, плазмохимического травления, вакуумные посты для нанесения покрытий.
Печи для термообработки, отжига, спекания и высокотемпературных процессов в вакууме. Проверка герметичности камер, систем охлаждения и газовых вводов.
Вакуумные линии откачки, газовые подводы, системы охлаждения, подземные и надземные трубопроводы для транспортировки газов и жидкостей.
Поиск утечек в корпусах турбомолекулярных, форвакуумных и криогенных насосов, диагностика уплотнений валов и фланцевых присоединений.
Электронные сканирующие микроскопы, масс-спектрометры, ускорители частиц, системы сверхвысокого вакуума для фундаментальных исследований.
Микроэлектроника, производство полупроводников, фармацевтическое оборудование, где даже минимальная утечка приводит к браку продукции.
Обсуждаем задачу, уточняем тип вакуумной системы, диапазон рабочего давления и характер возможных проблем.
Прибываем на площадку заказчика с течеискателем и вспомогательным оборудованием.
Оцениваем состояние установки, определяем способ подачи гелия, выбираем оптимальный метод диагностики — вакуумный или напорный режим.
Последовательно обследуем все потенциальные места утечек: фланцы, сварные швы, уплотнения, клапаны, вводы коммуникаций.
Точно определяем местоположение течей, оцениваем их скорость и влияние на работу системы.
Предоставляем подробный отчёт с указанием мест, типа и величины обнаруженных утечек.
Консультируем по выбору уплотнений, методам ремонта, улучшению конструкции соединений и мерам профилактики повторных утечек.
Мы выезжаем на объект заказчика в удобное время и проводим измерения без демонтажа оборудования. Диагностика выполняется быстро, с минимальным вмешательством в производственный процесс.
Используем профессиональный масс-спектрометрический течеискатель с чувствительностью до 5×10⁻¹³ Па·м³/с, что позволяет находить утечки, недоступные для других методов.
Наши специалисты — инженеры с глубоким пониманием вакуумных процессов, конструкции установок и особенностей эксплуатации различных типов систем. Мы не просто фиксируем утечку, а анализируем её причины.
Помимо обнаружения и локализации утечек, мы оцениваем техническое состояние системы, выявляем потенциальные проблемные зоны и предлагаем меры по их устранению.
Помимо фиксации утечек, даём практические рекомендации по модернизации уплотнений, замене арматуры, улучшению конструкции соединений и профилактике повторных дефектов.
По результатам течеискания предоставляем заключение с указанием мест, характера и скорости обнаруженных утечек, что важно для отчётности, сертификации и планирования ремонтных работ.
