При выборе большого количества опций блоки питания выносятся в отдельную стойку.
Опции
- Смотровое окно увеличенного размера для удобного наблюдения за процессом
- Автоматическая система позиционирования подложкодержателя
- ВЧ система питания магнетрона 13,56 МГц (генератор с автосогласующим устройством)
- Дополнительная газовая линия для подачи реакционных газов (N2, O2)
- Система автоматизации установки с дисплеем
- Автоматические заслонки для источников напыления
- Мишени для магнетронов, в том числе из драгоценных металлов
- Технологические карты для желаемых процессов
