При выборе большого количества опций блоки питания выносятся в отдельную стойку.
Опции:
- Смотровое окно увеличенного размера для удобного наблюдения за процессом.
- Автоматическая система позиционирования подложкодержателя.
- ВЧ система питания магнетрона 13,56 МГц (генератор с автосогласующим устройством).
- Дополнительная газовая линия для подачи реакционных газов (N2, O2).
- Система автоматизации установки с дисплеем.
- Автоматические заслонки для источников напыления.
- Мишени для магнетронов, в том числе из драгоценных металлов.
- Технологические карты для желаемых процессов.
