Основные свойства:
- Полностью безмасляная система вакуумной откачки, включающая турбомолекулярный насос большой производительности, а также спиральный насос, позволяет добиться условий сверхвысокого вакуума до 5×10-9 Торр, практически исключая участие частиц остаточной атмосферы в техпроцессе (в случаях еще более высоких требований к вакууму рекомендуется замена турбомолекулярного насоса на криогенный)
- Вакуумная камера изготавливается с учетом требований к вакууму, её размер может составлять до 700 мм
- Все элементы сверхвысоковакуумной области имеют медные уплотнения
- Возможность прогрева камеры до 400 °С
- Установка содержит до 4-х магнетронов с конфокальным расположением
- Наличие пневматических заслонок позволяет точно контролировать техпроцесс, а также избежать взаимного перепыления мишеней
- 3-х позиционный сверхвысоковакуумный затвор позволяет контролировать скорость откачки во время процесса напыления
- Шлюзовая камера отделена от технологической камеры затвором и имеет собственную систему откачки
- Оператор с помощью манипулятора может автоматически загружать образцы в технологическую камеру
- Возможность нагрева подложек до 800 °С
- Система цифрового управления позволяет полностью или частично автоматизировать техпроцесс
Область применения:
Микроэлектроника (металлы, оксиды металлов, диэлектрики), хранение данных (тонкие магнитные пленки), магнитные туннельные переходы, сверхпроводящие материалы, переходы Джозефсона, оптические пленки и фотоника
