Сверхвысоковакуумные установки для магнетронного напыления
В серии установок AcademVac-UHV для магнетронного напыления конструкция камеры адаптирована под особенности получения особо чистой среды (сверх высокого вакуума) перед началом технологического процесса. Система управления установкой автоматически контролирует состояние всех периферийных систем и управляет их параметрами. Имеется возможность загрузки подложек через шлюзовую камеру, а также многочисленные функции для оптимизации параметров тонких плёнок.
Описание
Основные свойства
- Полностью безмасляная система вакуумной откачки, включающая турбомолекулярный насос большой производительности, а также спиральный насос, позволяет добиться условий сверхвысокого вакуума до 5×10-9 Торр, практически исключая участие частиц остаточной атмосферы в техпроцессе (в случаях еще более высоких требований к вакууму рекомендуется замена турбомолекулярного насоса на криогенный)
- Вакуумная камера изготавливается с учетом требований к вакууму, её размер может составлять до 700 мм
- Все элементы сверхвысоковакуумной области имеют медные уплотнения
- Возможность прогрева камеры до 400°С
- Установка содержит до 4 магнетронов с конфокальным расположением
- Наличие пневматических заслонок позволяет точно контролировать техпроцесс, а также избежать взаимного перепыления мишеней
- 3-позиционный сверхвысоковакуумный затвор позволяет контролировать скорость откачки во время процесса напыления
- Шлюзовая камера отделена от технологической камеры затвором и имеет собственную систему откачки
- Оператор с помощью манипулятора может автоматически загружать образцы в технологическую камеру
- Возможность нагрева подложек до 800°С
- Система цифрового управления позволяет полностью или частично автоматизировать техпроцесс
Область применения
Микроэлектроника (металлы, оксиды металлов, диэлектрики), хранение данных (тонкие магнитные пленки), магнитные туннельные переходы, сверхпроводящие материалы, переходы Джозефсона, оптические пленки и фотоника.
