Цилиндрические вакуумные камеры востребованы за счет своего форм-фактора, который обеспечивает устойчивость конструкции при откачке и равномерное распределение внешнего давления. Такая геометрия минимизирует деформации, облегчает реализацию охлаждения, а также упрощает монтаж фланцев и технологических модулей.
Цилиндрическая форма позволяет эффективно использовать внутренний объем, снижает площадь поверхности, с которой происходит десорбция, и тем самым ускоряет достижение требуемого вакуума — особенно важно для UHV-применений.
Корпус камер, как правило, изготавливается из нержавеющей стали и может комплектоваться водяным охлаждением, смотровыми окнами, вакуумными вводами и крышками с быстрым доступом. Все вакуумные камеры проходят испытания на натекание. Такие камеры легко интегрируются в научные и промышленные стенды, подходят для процессов с осевой симметрией и позволяют реализовывать как компактные, так и крупногабаритные решения под конкретные задачи. Все вакуумные камеры проходят испытания на натекание.
Применение:
- Научные исследования и испытания макетов
- Термовакуумные и климатические испытания
- Процессы напыления и травления
- Интеграция в промышленные и научные вакуумные комплексы
- Кастомные решения «под ключ» с учетом специфики задачи
- Установки для дегазации
Типичные значения параметров, улучшенные — по согласованию
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Форма камеры | Цилиндрические (горизонтально или вертикально расположенные) |
| Полезный объем | 50–1000 л |
| Материал | Нержавеющая сталь (12Х18Н10Т, AISI 304, 316L) Углеродистая сталь |
| Диапазон рабочего давления | От атмосферного до 10⁻⁶…10⁻⁸ Торр (в базовой комплектации); До 10⁻⁹…10⁻¹⁰ Торр с опциями |
| Тип уплотнений | Эластомерные (FKM, Viton), круглого или прямоугольного сечения. Для сверхвысоковакуумных камер — медные уплотнения. |
| Доступ в вакуумный объём | Торцевая дверь (двери) с двухшарнирными петлями. Зажимы по контуру для фиксации/прижима двери |
| Порты/фланцы подключения | CF (ConFlat) — медные уплотнения/прокладки ISO-K — центрирующее и уплотнительное кольца, под струбцины ISO-F — центрирующее и уплотнительное кольца, под болты KF — быстроразъёмы под хомут ГОСТ — эластичные уплотнения под болты Нестандартные размеры, включая прямоугольные |
| Температура прогрева | До 150°C |
| Обработка внутренней поверхности | Механическая или электрохимическая полировка |
| Сварные швы, контроль герметичности | Сварка ручная в среде защитных газов, сварные швы по ГОСТ 14771-76. Вакуумноплотные сварные швы проверяются на герметичность гелиевым течеискателем, течи в пределах чувствительности прибора не допускаются. |
| Габаритные размеры | Диаметр от 200 до 2000 мм; Высота от 200 до 2000 мм |
