Компактные установки напыления

ACADEMVAC Tabletop - серия компактных вакуумных установок с функциями полногабаритных установок, которые помещаются на столе.
Подходит для целей напыления металлов, оксидов, нитридов при отработке технологий, производстве МЭМС и др.
Вместе с установкой может быть предоставлен специальный учебный материал для подготовки студентов ВУЗов.
При выборе большого количества опций блоки питания выносятся в отдельную стойку.

Характеристики: 

Опции:

• • Смотровое окно увеличенного размера для удобного наблюдения за процессом.
• • Автоматическая система позиционирования подложкодержателя.
• • ВЧ система питания магнетрона 13,56 МГц (генератор с автосогласующим устройством).
• • Дополнительная газовая линия для подачи реакционных газов (N2, O2).
• • Система автоматизации установки с дисплеем.
• • Автоматические заслонки для источников напыления.
• • Мишени для магнетронов, в том числе из драгоценных металлов.
• • Технологические карты для желаемых процессов.