AcademVaс, LLC. Vacuum equipment and Engineering.

   +7 923 140 0870       +7 923 172 4237       +7 913 922 1180       info@academvac.ru

    Высокопроизводительные вакуумные установки напыления

    ACADEMVAC-PRO - серия автоматизированных промышленных вакуумных установок. Выполнение процессов напыления тонких пленок с высокой точностью и повторяемостью. Установка может быть оснащена электронно-лучевым испарителем с несколькими тиглями большой загрузки для нанесения нескольких материалов в одном технологическом процессе. Система оптического спектрального контроля позволяет получать покрытия с заданными характеристиками с проведением контроля непосредственно во время напыления.
    Для реализации установки с магнетронной системой используются протяженные источники для обеспечения высокой равномерности и большой загрузки подложек.

    Установки магнетронного напыления ACADEMVAC-M/T

    Характеристики:

    tab1

    Опции

    • • Оснастка для подложек для напыления с двух сторон.
    • • Подложкодержатель с дополнительной осью вращения подложек для увеличения равномерности.
    • • Исполнение установки для чистой комнаты.
    • • Исполнение с «вертикальным» напылением.
    • • Емкостной вакуумный датчик для мониторинга давления с повышенной точностью ~0.2%.
    • • Шлюзовая система.
    • • Дополнительная дверь в вакуумной камере для технического обслуживания.
    • • Материалы для распыления, в том числе драгоценные металлы.
    • • Технологические карты для желаемых процессов.

    logo

    Contact details:

    Address: 20, Inzhenernaya Street, Novosibirsk, Russia, office No. 1
    Email: info@academvac.ru
    Tel.: +7 (383) 375-04-27; +7 913 922 11 80
    Website: www.academvac.ru

    Please publish modules in offcanvas position.