Установка для нанесения тонких плёнок встроенная в перчаточный бокс
Установки серии AcademVac-Box для нанесения тонких плёнок, встроенные в перчаточный бокс, незаменимы, если все манипуляции с материалами и подложками необходимо производить в контролируемой атмосфере перчаточного бокса. Материалы и подложки, чувствительные к атмосферному воздуху, можно хранить, перемещать из процесса в процесс без воздействия окружающей среды.
В зависимости от нужд заказчика система может быть сконфигурирована с максимально удобным расположением элементов.
Описание
Основные свойства
- Полностью безмасляная система вакуумной откачки, включающая высоковакуумный турбомолекулярный и форвакуумный спиральный насосы, позволяет добиться максимальной чистоты техпроцесса (по запросу тип вакуумных насосов может быть изменён)
- Вакуумная камера имеет прямоугольную форму шириной до 700 мм и соединяется с перчаточным боксом через герметичный порт
- Камера оснащена раздвижной дверью, откатывающейся в сторону
- Конструкция камеры позволяет открывать и закрывать дверь внутри перчаточного бокса, обеспечивая быстрый и легкий доступ к подложкодержателю и технологическим источникам
- Также имеется большая сервисная дверь со стандартными петлями для обслуживания внутрикамерного пространства
- Установка может быть укомплектована 4 термическими испарителями (высоко- и/или низкотемпературными) или 4 магнетронными распылительными системами
- Нагреватель типа ТЭН позволяет нагреть образцы до 300°С
- Система цифрового управления позволяет полностью автоматизировать техпроцесс
Область применения
Солнечная энергетика, полупроводниковая промышленность.
