Основные свойства:
- Полностью безмасляная система вакуумной откачки, включающая высоковакуумный турбомолекулярный и форвакуумный спиральный насосы, позволяет добиться максимальной чистоты техпроцесса (по запросу тип вакуумных насосов может быть изменён)
- Вакуумная камера имеет прямоугольную форму шириной до 700 мм и соединяется с перчаточным боксом через герметичный порт
- Камера оснащена раздвижной дверью, откатывающейся в сторону
- Конструкция камеры позволяет открывать и закрывать дверь внутри перчаточного бокса, обеспечивая быстрый и легкий доступ к подложкодержателю и технологическим источникам
- Также имеется большая сервисная дверь со стандартными петлями для обслуживания внутрикамерного пространства
- Установка может быть укомплектована 4-мя термическими испарителями (высоко- и/или низкотемпературными) или 4-мя магнетронными распылительными системами
- Нагреватель типа ТЭН позволяет нагреть образцы до 300 °С
- Система цифрового управления позволяет полностью автоматизировать техпроцесс
Область применения:
Солнечная энергетика, полупроводниковая промышленность
