Установки напыления покрытий (PVD)
Установки для напыления и травления
Установки химического осаждения из газовой фазы (CVD/PECVD)
Установки вакуумного травления
Кластерные вакуумные установки
Услуги и инжиниринг
Обновляем узлы и системы управления, что увеличивает функциональные возможности оборудования и повышает производительность. Помогаем продлить ресурс оборудования, а также адаптировать установку под новую технологию.
Разрабатываем уникальные вакуумные установки в рамках НИОКР/ОКР: от исследований и проектирования до прототипа и испытаний. Отрабатываем технологии PVD, CVD/PECVD, RIE и автоматизацию под ваши процессы и материалы.
Проводим течеискание вакуумных систем и камер: находим и локализуем утечки, проверяем герметичность узлов и соединений. Помогаем восстановить требуемые параметры вакуума, подготавливаем оборудование к эксплуатации.
Восстанавливаем конструкторскую документацию и 3D‑модели, подбираем аналоги узлов и комплектующих, готовим решения для ремонта или повторного изготовления. Поддерживаем проекты PVD/CVD/PECVD/RIE, когда исходных чертежей нет.
Помогаем отработать технологию нанесения вакуумных покрытий и подтвердить качество результата: режимы процесса, воспроизводимость, контроль свойств. Подключаем анализ покрытий, даем интерпретацию результатов для корректировки технологии.
Проводим диагностику вакуумных систем, выявляем причины нестабильной работы, выполняем ремонт/восстановление. По итогам даём рекомендации по обслуживанию и модернизации, чтобы снизить простои.
Вакуумные камеры, печи, посты
Выпускаем вакуумные камеры, печи и посты для лабораторного и промышленного применения — от исследований до серийного производства. Помогаем купить вакуумное оборудование под существующую линию или спроектировать под вашу технологию, степень вакуума и бюджет.
Вакуумные камеры
Вакуумные камеры для разных технологий и форматов линии:
- цилиндрические, прямоугольные,
- D‑образные,
- колпаковые,
- в том числе цельноалюминиевые и сверхвысоковакуумные.
Проектируем камеры под конкретные размеры, компоновку оснастки, степень вакуума (HV/UHV), требования к чистоте и сервису.
Подберём тип камеры, материал, тип фланцевых соединений (ISO‑K/ISO‑F/KF/CF), откачной тракт под ваши процессы — от магнетронного напыления и CVD/PECVD до травления, термовакуумных испытаний и интеграции в кластерные комплексы.
Вакуумные печи
Вакуумные печи ACADEMVAC‑Fur — универсальные установки для термообработки изделий в вакууме или инертной атмосфере:
- пайка,
- спекание,
- синтез материалов,
- отжиг,
- термостабилизация.
Диапазон температур — от 300 до 1600°C (выше по запросу), подбираем конфигурацию нагревателей из фехраля, вольфрама, молибдена или графита и многослойную экранную изоляцию.
Используем безмасляные или масляные откачные системы, обеспечиваем автоматизированное управление процессом, запись параметров, возможна комплектация шлюзом и системой охлаждения.
Поможем подобрать модель печи под габариты изделий, требуемую температуру, производительность.
Вакуумные посты
Вакуумные посты для откачки камер и технологического оборудования: типовые решения ведущих мировых производителей и индивидуально спроектированные комплексы.
- Подбираем форвакуумные и высоковакуумные насосы под степень вакуума, объём камеры, режим работы, требования по производительности, комплектуем арматурой и средствами контроля вакуума.
- Настраиваем схему управления — от простых ручных панелей до автоматизированных постов на ПК и ПЛК.
- Учитываем предпочтения по брендам и совместимость с существующим парком оборудования; посты поставляются полностью готовыми к эксплуатации.
Комплектующие и источники для напыления
Магнетроны для PVD‑установок
Магнетроны 2″ и 3″ для вакуумных установок напыления покрытий. Помогаем подобрать конфигурацию по мощности, типу исполнения (конфокальный, прямой, с газовым кольцом).
Мишени и испарительные материалы
Помогаем закрыть все потребности в расходниках: у нас можно купить мишень для магнетронного напыления или подобрать испарительные материалы под конкретный процесс.
Ионные источники
Ионные источники типа End‑Hall для ионного ассистирования PVD-процессов или очистки и травления изделий. Подбираем источники под ваш процесс.
Термические источники и электронно-лучевые испарители (ЭЛИ)
Подберем оптимальный метод термического осаждения (с лодочки или тигля), с одного или нескольких источников под разные технологические процессы.
Криогенные экраны для ТВК
Разрабатываем и изготавливаем криогенные экраны для термовакуумных камер и имитаторов космического пространства. Подбираем конструкцию, материал, зону охлаждения под требования по фону, тепловым потокам и режимам нагрева/прогрева.
Каталог продукции
Вакуумные
установки
установки
Вакуумные
камеры
камеры
Вакуумные
печи
печи
Технологические
устройства
устройства
Вакуумные
посты
посты
Как мы работаем
Анализ задачи и требований
Разбираем процесс, изделия, ограничения по вакууму и площадке, смотрим исходные чертежи. Формулируем технические требования и целевые параметры.
Предпроект и концепция решения
Предлагаем варианты: новое оборудование, модернизация, вакуумная камера, пост или комплектующие. Оцениваем риски, сроки и порядок испытаний, согласуем концепцию с заказчиком.
Проектирование и моделирование
Разрабатываем 3D-модели, компоновку вакуумных узлов, откачной системы и управления в соответствии с требуемой конфигурацией. По НИОКР/ОКР закладываем варианты для отработки технологий.
Изготовление и комплектация
Производим камеры и узлы, собираем технологические модули, источники, посты и криоэкраны, проводим входной контроль комплектующих. Готовим систему к стендовым испытаниям.
Испытания и отработка технологий
Проводим вакуумные и тепловые испытания, отрабатываем режимы PVD/CVD/PECVD/RIE или термовакуумных процессов. При необходимости подключаем анализ покрытий и диагностику.
Поставка, монтаж и запуск
Организуем поставку, сборку и монтаж на площадке заказчика, проводим пусконаладку и ввод в эксплуатацию. Обучаем персонал работе с установкой и программным обеспечением.
Сервис и поддержка
Обеспечиваем диагностику, ремонт, течеискание, обновление ПО и модернизацию оборудования по мере развития задач. Помогаем планировать обслуживание, чтобы снизить риски простоев.
Хотите с нами
сотрудничать?
сотрудничать?
Наша команда
Коверзнев Максим Петрович
Генеральный директор
Карпов Дмитрий Николаевич
Исполнительный директор
Амплеев Алексей Александрович
Технический директор
Горшков Дмитрий Витальевич
Ведущий инженер-проектировщик
Болдов Иван Андреевич
Проектный менеджер
Шушаков Антон Александрович
Старший менеджер по продажам
Почему "АкадемВак"
Фокус на вакуумных технологиях
Работаем только с вакуумным оборудованием и процессами PVD, CVD/PECVD, RIE, термовакуумом — понимаем физику процессов, знаем ограничения “изнутри”.
Полный инженерный цикл
Сопровождаем полный цикл — от идеи и НИОКР/ОКР до промышленного внедрения: помогаем, когда вы только планируете купить вакуумную установку, и остаёмся на проекте до запуска и модернизации.
Собственное производство камер и узлов
Производим вакуумные камеры, печи, посты, криогенные экраны, источники напыления, адаптируя конструкцию под условия эксплуатации и инфраструктуру.
Гибкие решения: новый проект или модернизация
Предлагаем оптимальный путь: разработка с нуля, глубокая модернизация имеющегося решения или точечная замена узлов (фланцевые соединения, вакуумные вводы, подложкодержатели, датчики).
Интеграция в существующие линии
Учитываем габариты, коммуникации, ПО, парк насосов/источников на площадке, чтобы новое оборудование “встало” в линию без лишних переделок.
Поддержка по технологии и сервису
Помогаем не только с железом, но и с отработкой режимов, анализом покрытий, диагностикой, ремонтом.
Долгосрочное сопровождение проектов
Сохраняем документацию, 3D‑модели и историю изменений, оперативно предлагаем решения по модернизации и расширению, когда у заказчика меняются требования к установке или процессу.
Технологии: статьи и обзоры
Физическое осаждение из газовой фазы (PVD)
Магнетронное распыление: ведущая технология формирования тонкопленочных покрытий
Химическое осаждение из газовой фазы, стимулированное плазмой (PE CVD)
Реактивное ионное травление (RIE)
Импульсное магнетронное распыление высокой мощности (HiPIMS)
Лазерная абляция (PLD)
Индуктивно-связанная плазма в CVD-процессах: принципы и технологии PECVD ICP
Частые вопросы и ответы
Не нашли ответ? Оставьте свои контактные данные в форме связи
Как выбрать подходящее вакуумное оборудование?
Можно ли модернизировать старую вакуумную установку, или нужно покупать новую?
В большинстве случаев модернизация позволяет продлить ресурс и выйти на нужные параметры без покупки нового комплекса. Если требуется полностью новое решение или вы планируете купить установку магнетронного напыления, мы сравним варианты по бюджету и предложим оптимальный.
Какие насосы и вакуумные посты вы предлагаете?
Как заказать оборудование и получить коммерческое предложение?
Какую гарантию и сервис вы предоставляете?
Обсудить проект или заказать оборудование
Опишите вашу задачу. Проконсультируем по технологиям, подберем установку из каталога или предложим решение под ваши требования.