AcademVaс, LLC. Vacuum equipment and Engineering.

   +7 923 140 0870       +7 923 172 4237       +7 913 922 1180       info@academvac.ru

    Универсальные вакуумные установки напыления

    ACADEMVAC-M/T - серия универсальных вакуумных установок магнетронного и/или термического распыления для получения тонкоплёночных покрытий высокого качества.
    Установки имеют расширенные аналитические возможности для осуществления прецизионного контроля при отработке технологического процесса.

    univeruas

    Возможна реализация расположения магнетронов со схемой распыления «снизу вверх» или «сверху вниз».

    Подходит для целей напыления металлических и диэлектрических тонких плёнок при мелкосерийном производстве устройств, отработке технологий.

    Высокая надёжность, настраиваемость под особенности требуемого технологического процесса. Полностью безмасляный вакуум обеспечивается современными спиральными и турбомолекулярными насосами.

    Характеристики:

    Характеристики Установки магнетронного напыления ACADEMVAC-M/T

    Опции:

    • • Шлюзовая камера с манипулятором для перемещения подложек.
    • • Специальный испаритель (LTE) для нанесения органических и коррозийных материалов.
    • • Высоковакуумная откачная система для шлюзовой камеры.
    • • Предварительная обработка подложек в шлюзовой камере (ионная очистка, прогрев).
    • • Система автоматизации установки с дисплеем.
    • • Технологические карты для желаемых процессов.

    logo

    Contact details:

    Address: 20, Inzhenernaya Street, Novosibirsk, Russia, office No. 1
    Email: info@academvac.ru
    Tel.: +7 (383) 375-04-27; +7 913 922 11 80
    Website: www.academvac.ru

    Please publish modules in offcanvas position.