Установки напыления покрытий (PVD)
Установки для напыления и травления
Установки химического осаждения из газовой фазы (CVD/PECVD)
Установки вакуумного травления
Кластерные вакуумные установки
Услуги и инжиниринг
Обновляем узлы и системы управления, что увеличивает функциональные возможности оборудования и повышает производительность. Помогаем продлить ресурс оборудования, а также адаптировать установку под новую технологию.
Разрабатываем уникальные вакуумные установки в рамках НИОКР/ОКР: от исследований и проектирования до прототипа и испытаний. Отрабатываем технологии PVD, CVD/PECVD, RIE и автоматизацию под ваши процессы и материалы.
Проводим течеискание вакуумных систем и камер: находим и локализуем утечки, проверяем герметичность узлов и соединений. Помогаем восстановить требуемые параметры вакуума, подготавливаем оборудование к эксплуатации.
Восстанавливаем конструкторскую документацию и 3D‑модели, подбираем аналоги узлов и комплектующих, готовим решения для ремонта или повторного изготовления. Поддерживаем проекты PVD/CVD/PECVD/RIE, когда исходных чертежей нет.
Помогаем отработать технологию нанесения вакуумных покрытий и подтвердить качество результата: режимы процесса, воспроизводимость, контроль свойств. Подключаем анализ покрытий, даем интерпретацию результатов для корректировки технологии.
Проводим диагностику вакуумных систем, выявляем причины нестабильной работы, выполняем ремонт/восстановление. По итогам даём рекомендации по обслуживанию и модернизации, чтобы снизить простои.
Вакуумные камеры, печи, посты
Выпускаем вакуумные камеры, печи и посты для лабораторного и промышленного применения — от исследований до серийного производства. Помогаем купить вакуумное оборудование под существующую линию или спроектировать под вашу технологию, степень вакуума и бюджет.
Вакуумные камеры
Вакуумные камеры для разных технологий и форматов линии:
- цилиндрические, прямоугольные,
- D‑образные,
- колпаковые,
- в том числе цельноалюминиевые и сверхвысоковакуумные.
Проектируем камеры под конкретные размеры, компоновку оснастки, степень вакуума (HV/UHV), требования к чистоте и сервису.
Подберём тип камеры, материал, тип фланцевых соединений (ISO‑K/ISO‑F/KF/CF), откачной тракт под ваши процессы — от магнетронного напыления и CVD/PECVD до травления, термовакуумных испытаний и интеграции в кластерные комплексы.
Вакуумные печи
Вакуумные печи ACADEMVAC‑Fur — универсальные установки для термообработки изделий в вакууме или инертной атмосфере:
- пайка,
- спекание,
- синтез материалов,
- отжиг,
- термостабилизация.
Диапазон температур — от 300 до 1600°C (выше по запросу), подбираем конфигурацию нагревателей из фехраля, вольфрама, молибдена или графита и многослойную экранную изоляцию.
Используем безмасляные или масляные откачные системы, обеспечиваем автоматизированное управление процессом, запись параметров, возможна комплектация шлюзом и системой охлаждения.
Поможем подобрать модель печи под габариты изделий, требуемую температуру, производительность.
Вакуумные посты
Вакуумные посты для откачки камер и технологического оборудования: типовые решения ведущих мировых производителей и индивидуально спроектированные комплексы.
- Подбираем форвакуумные и высоковакуумные насосы под степень вакуума, объём камеры, режим работы, требования по производительности, комплектуем арматурой и средствами контроля вакуума.
- Настраиваем схему управления — от простых ручных панелей до автоматизированных постов на ПК и ПЛК.
- Учитываем предпочтения по брендам и совместимость с существующим парком оборудования; посты поставляются полностью готовыми к эксплуатации.
Комплектующие и источники для напыления
Магнетроны для PVD‑установок
Магнетроны 2″ и 3″ для вакуумных установок напыления покрытий. Помогаем подобрать конфигурацию по мощности, типу исполнения (конфокальный, прямой, с газовым кольцом).
Мишени и испарительные материалы
Помогаем закрыть все потребности в расходниках: у нас можно купить мишень для магнетронного напыления или подобрать испарительные материалы под конкретный процесс.
Ионные источники
Ионные источники типа End‑Hall для ионного ассистирования PVD-процессов или очистки и травления изделий. Подбираем источники под ваш процесс.
Термические источники и электронно-лучевые испарители (ЭЛИ)
Подберем оптимальный метод термического осаждения (с лодочки или тигля), с одного или нескольких источников под разные технологические процессы.
Криогенные экраны для ТВК
Разрабатываем и изготавливаем криогенные экраны для термовакуумных камер и имитаторов космического пространства. Подбираем конструкцию, материал, зону охлаждения под требования по фону, тепловым потокам и режимам нагрева/прогрева.
Каталог продукции
Вакуумные
установки
установки
Вакуумные
камеры
камеры
Вакуумные
печи
печи
Технологические
устройства
устройства
Вакуумные
посты
посты
Как мы работаем
Анализ задачи и требований
Разбираем процесс, изделия, ограничения по вакууму и площадке, смотрим исходные чертежи. Формулируем технические требования и целевые параметры.
Предпроект и концепция решения
Предлагаем варианты: новое оборудование, модернизация, вакуумная камера, пост или комплектующие. Оцениваем риски, сроки и порядок испытаний, согласуем концепцию с заказчиком.
Проектирование и моделирование
Разрабатываем 3D-модели, компоновку вакуумных узлов, откачной системы и управления в соответствии с требуемой конфигурацией. По НИОКР/ОКР закладываем варианты для отработки технологий.
Изготовление и комплектация
Производим камеры и узлы, собираем технологические модули, источники, посты и криоэкраны, проводим входной контроль комплектующих. Готовим систему к стендовым испытаниям.
Испытания и отработка технологий
Проводим вакуумные и тепловые испытания, отрабатываем режимы PVD/CVD/PECVD/RIE или термовакуумных процессов. При необходимости подключаем анализ покрытий и диагностику.
Поставка, монтаж и запуск
Организуем поставку, сборку и монтаж на площадке заказчика, проводим пусконаладку и ввод в эксплуатацию. Обучаем персонал работе с установкой и программным обеспечением.
Сервис и поддержка
Обеспечиваем диагностику, ремонт, течеискание, обновление ПО и модернизацию оборудования по мере развития задач. Помогаем планировать обслуживание, чтобы снизить риски простоев.
Хотите с нами
сотрудничать?
сотрудничать?
Наша команда
Коверзнев Максим Петрович
Генеральный директор
Карпов Дмитрий Николаевич
Исполнительный директор
Амплеев Алексей Александрович
Технический директор
Горшков Дмитрий Витальевич
Ведущий инженер-проектировщик
Болдов Иван Андреевич
Проектный менеджер
Шушаков Антон Александрович
Старший менеджер по продажам
Шичалин Кирилл Вячеславович
Инженер отдела продаж
Зайцева Эльза Гайнуллаевна
Инженер отдела продаж
Попова Елизавета Сергеевна
Инженер-проектировщик
Панькина Тамара Сергеевна
Инженер-конструктор
Геливера Вячеслав Евгеньевич
Инженер-конструктор
Тузовская Анастасия Андреевна
Специалист МТО
Пинских Наталья Евгеньевна
Главный бухгалтер
Качура Елена Юрьевна
Главный казначей
Ирина Горр Валерьевна
Специалист по кадрам
Рыльских Александр Сергеевич
Инженер АСУТП
Карпов Александр Николаевич
Специалист IT отдела
Шитик Владимир Васильевич
Инженер
Фраерт Максим Сергеевич
Инженер-наладчик
Почему "АкадемВак"
Фокус на вакуумных технологиях
Работаем только с вакуумным оборудованием и процессами PVD, CVD/PECVD, RIE, термовакуумом — понимаем физику процессов, знаем ограничения “изнутри”.
Полный инженерный цикл
Сопровождаем полный цикл — от идеи и НИОКР/ОКР до промышленного внедрения: помогаем, когда вы только планируете купить вакуумную установку, и остаёмся на проекте до запуска и модернизации.
Собственное производство камер и узлов
Производим вакуумные камеры, печи, посты, криогенные экраны, источники напыления, адаптируя конструкцию под условия эксплуатации и инфраструктуру.
Гибкие решения: новый проект или модернизация
Предлагаем оптимальный путь: разработка с нуля, глубокая модернизация имеющегося решения или точечная замена узлов (фланцевые соединения, вакуумные вводы, подложкодержатели, датчики).
Интеграция в существующие линии
Учитываем габариты, коммуникации, ПО, парк насосов/источников на площадке, чтобы новое оборудование “встало” в линию без лишних переделок.
Поддержка по технологии и сервису
Помогаем не только с железом, но и с отработкой режимов, анализом покрытий, диагностикой, ремонтом.
Долгосрочное сопровождение проектов
Сохраняем документацию, 3D‑модели и историю изменений, оперативно предлагаем решения по модернизации и расширению, когда у заказчика меняются требования к установке или процессу.
Технологии: статьи и обзоры
Физическое осаждение из газовой фазы (PVD)
Магнетронное распыление: ведущая технология формирования тонкопленочных покрытий
Химическое осаждение из газовой фазы, стимулированное плазмой (PE CVD)
Реактивное ионное травление (RIE)
Импульсное магнетронное распыление высокой мощности (HiPIMS)
Лазерная абляция (PLD)
Индуктивно-связанная плазма в CVD-процессах: принципы и технологии PECVD ICP
Частые вопросы и ответы
Не нашли ответ? Оставьте свои контактные данные в форме связи
Как выбрать подходящее вакуумное оборудование?
Можно ли модернизировать старую вакуумную установку, или нужно покупать новую?
В большинстве случаев модернизация позволяет продлить ресурс и выйти на нужные параметры без покупки нового комплекса. Если требуется полностью новое решение или вы планируете купить установку магнетронного напыления, мы сравним варианты по бюджету и предложим оптимальный.
Какие насосы и вакуумные посты вы предлагаете?
Как заказать оборудование и получить коммерческое предложение?
Какую гарантию и сервис вы предоставляете?
Обсудить проект или заказать оборудование
Опишите вашу задачу. Проконсультируем по технологиям, подберем установку из каталога или предложим решение под ваши требования.