Вакуумный пост

Вакуумный пост (вакуумная станция) — законченный агрегат, включающий форвакуумный и высоковакуумный насосы, систему управления и средства контроля вакуума. Он предназначен для создания и поддержания требуемого уровня разрежения в технологических установках и лабораторном оборудовании.

Ступени откачки и типы насосов

Первая ступень — форвакуумный насос, который снижает давление от атмосферного уровня до порядка 1 Па.

После этого включается высоковакуумный насос (как правило, турбомолекулярный), обеспечивающий диапазон 10⁻⁷…10⁻⁸ Па, достаточный для большинства процессов PVD.

Система управления вакуумным постом контролирует параметры насосов, вакуума в системе и обеспечивает автоматическое включение/выключение насосов, затворов/клапанов, отслеживает параметры для обеспечения срабатывания защитных блокировок для корректной работы системы.

Форвакуумные насосы

Масляные пластинчато-роторные. Надёжное и производительное решение для большинства промышленных задач, позволяют получать хороший предельный вакуум. Отличаются хорошим соотношением «стоимость/производительность», однако являются масляными средствами откачки, могут загрязнять форвакуумную линию парами масла.
Сухие спиральные. Безмасляные, компактные и тихие, хорошо подходят для лабораторных приборов и аналитических установок. Обеспечивают чистую откачку до ~1 Па (отсутствует вакуумное масло как рабочая жидкость), однако более дорогие по сравнению с маслонаполненными насосами.
Сухие винтовые. Промышленные насосы с высокой производительностью (сотни м³/ч), рассчитанные на непрерывную работу. Отличаются долговечностью, полностью безмасляные, при этом они дороже и крупнее, чем спиральные. Применение в вакуумных постах ограничено из-за большой массы, что уменьшает мобильность вакуумного поста.
Мембранные. Компактные, тихие и простые в эксплуатации. Эффективны при малых объёмах и в составе лабораторных приборов, ограничены по производительности и предельному вакууму.

Подбор насосов — это всегда индивидуальная задача. Мы собираем вакуумные посты под конкретные параметры процесса: от high-end компонентов до доступных по цене решений, с системами управления любой сложности.

Высоковакуумные насосы

Турбомолекулярные. Основное современное решение, обеспечивающее стабильную работу в диапазоне до 10⁻⁸ Па, сочетают эффективность и удобство эксплуатации.
Диффузионные. Традиционное и более доступное по цене решение, требуют защиты от попадания масла в рабочий объём, поэтому применяются всё реже.
Ионные и крионасосы. Используются как дополнительный каскад для достижения сверхвысокого вакуума (10⁻⁹ Па и ниже). Для очень специфических применений.

Мы предлагаем к покупке как типовые вакуумные посты ведущих мировых производителей, так и производим индивидуальные решения. Мы можем подобрать и поставить заказчику стандартную комплектацию под конкретные условия эксплуатации и параметры процесса.

Если требуется особая производительность или дополнительные функции, разрабатываем нестандартные исполнения: подбираем форвакуумные и высоковакуумные насосы с учётом уровня вакуума, объёма камеры, режима работы и требований по производительности.

Комплектуем посты насосами любых брендов — от high-end решений (Pfeiffer, Shimadzu, Edwards, Leybold и др.) до китайских моделей с оптимальным соотношением “цена/качество” и российских насосов, когда особенно важно подтверждённое отечественное происхождение. При этом учитываем пожелания заказчика исходя из его опыта и имеющегося парка оборудования, даём рекомендации по совместимости и сервису. Вакуумные посты поставляются полностью готовыми к эксплуатации.

В зависимости от задачи мы предлагаем различные варианты управления: от простых кнопочных схем ручного управления до полноценных автоматизированных комплексов на базе ПЛК. Дополнительно посты могут оснащаться вакуумными датчиками, затворами, переходными адаптерами, сильфонами и транспортировочными тележками.