Вакуумные камеры

Основа любой вакуумной системы — это вакуумная камера. Правильно выбранная и изготовленная камера позволит успешно решить поставленные задачи. Основные параметры, которые следует учитывать при выборе вакуумной камеры:

Характеристики

Предельный вакуум:

• Сверхвысокий вакуум до 10-11 Торр
• Высокий вакуум до 10-8 Торр
• Форвакуум до 10-3 Торр

Материал камеры:

• Нерж. сталь (12Х18Н10Т, AISI 304, 316L и др.)
• Алюминий и алюминиевые сплавы
• Стекло кварцевое, боросиликатное

Особенности конструкции:

• Нестандартные фланцы
• Водяное охлаждение
• Радиационно-защищённое исполнение

Объем:

• Малогабаритные: до 20 литров
• Среднего объема: до 500 литров
• Крупные: 1000 литров и более

Области применения:

• Установки напыления, травления и другие
• Дегазация изделий
• Вакуумные сушки, печи
• Термовакуумные и климатические испытания
• Имитация условий в космосе, испытания при пониженном давлении
• Научные исследования
• Корпусирование приборов