Многогранные вакуумные камеры | АкадемВак
Связаться с нами
Контакты
Адрес
630090, г. Новосибирск,
ул. Инженерная 7/1, офис 36
Телефон
+7 (383) 375-04-27
Email
info@academvac.ru
Смотреть на карте
+7 (383) 375 94 07
Связаться с нами
Опишите установку и требуемый результат — предложим решение. Поможем выбрать формат работ и подготовим план действий.​ Отдел продаж: +7 (383) 375-94-07
Многогранные вакуумные камеры
Многогранные вакуумные камеры — изображение 2
Многогранные вакуумные камеры — изображение 3
Многогранные вакуумные камеры — изображение 4

Многогранные вакуумные камеры

Многогранные вакуумные камеры предназначены для технологических процессов и исследований в условиях высокого (HV) и сверхвысокого (UHV) вакуума. Геометрия корпуса обеспечивает равномерное распределение внешних нагрузок и удобное размещение технологических портов, что делает камеры универсальными и функционально насыщенными.

Характеристики

Конструкция и габариты
Форма камеры

Восьмигранная, Индивидуально по ТЗ

Ориентация установки

—

Полезный объём

50–1000 л

Габаритные размеры

До 1200×1200×1200 мм

Материал корпуса

Нержавеющая сталь (12Х18Н10Т, AISI 304, 316L)

Материал двери / колпака

—

Доступ в вакуумный объём

Дверь с петлями, Съёмная стенка/фланец/загрузочная дверь на стандартном фланце

Механизм двери / колпака

Дверь с петлями, Съёмная стенка

Габарит более 2 м

—

Вакуумные и технологические параметры
Диапазон рабочего давления (базовая комплектация)

От атмосферного до 10⁻⁶…10⁻⁸ Торр

Диапазон рабочего давления (опция UHV)

До 10⁻⁹…10⁻¹⁰ Торр с опциями

Тип уплотнений

Для UHV — медные, Металлические — по запросу, Эластомерные (FKM, Viton), круглого или прямоугольного сечения

Температура прогрева, max

До 150 °C

Вакуумный отжиг / термообработка

—

Обработка внутренней поверхности

Механическая или электрохимическая полировка

Обработка внешней поверхности

Полированная или матовая (пескоструйная) — по выбору

Совместимость с UHV-компонентами / режим

С опциями до 10⁻⁹…10⁻¹⁰ Торр

Предварительная очистка

—

Порты и фланцы

CF, ISO-K, KF, Нестандартные, включая прямоугольные

Сварка / способ изготовления

Сварка ручная в среде защитных газов, ГОСТ 14771-77

Контроль герметичности

Гелиевый течеискатель

Скорость утечки (гелий)

В пределах чувствительности гелиевого течеискателя

Испытание на натекание

Все камеры проходят испытание на натекание

Комплектация, опции и заказ
Водяное охлаждение

По запросу

Смотровые окна

По компоновке

Вакуумные и электрические вводы

По компоновке

Внутреннее экранирование (μ-металл)

—

Дополнительная комплектация и опции

Диагностические окна, Интеграция с откачными системами и модулями напыления, Источники, Манипуляторы

Расчёт нагрузок (FEM-моделирование)

По запросу

Радиационно-защищённое исполнение

По запросу

Чертежи заказчика

Приветствуются, но не обязательны

Описание

Многогранные вакуумные камеры изготавливаются из нержавеющей стали (12Х18Н10Т, AISI 304, 316L) и обладают прочной, герметичной конструкцией. Для повышения прочностных характеристик, а также для снижения общей массы вакуумной камеры, обычно используются усиливающие рёбра жёсткости. Типовая форма — восьмигранная, обеспечивающая высокую механическую устойчивость при откачке, а также оптимальное распределение фланцев и портов по периметру корпуса.

Симметричная геометрия упрощает интеграцию большого количества вакуумных портов, диагностических окон, манипуляторов, источников обработки и другой оснастки. Внешняя поверхность может быть полированной или матовой (пескоструйной) — по выбору заказчика. Камеры комплектуются фланцами стандартов CF, KF, ISO-K, уплотнительными элементами (эластомерными или металлическими) и, при необходимости, системой водяного охлаждения.

Все камеры проходят проверку герметичности (испытание на натекание) с использованием гелиевого течеискателя. Конструкция легко интегрируется с откачными системами, управляющими стойками, плазменными источниками и модулями напыления. Возможна адаптация геометрии и оснащения под конкретный технологический процесс или эксперимент. При заказе чертежи приветствуются, но не обязательны — при необходимости мы разработаем полный комплект КД.

Применение:

  • Нанесение функциональных и декоративных тонкопленочных покрытий
  • Плазменная и ионная обработка
  • Исследования в области материаловедения и физики твердого тела
  • Сборка, тестирование и прототипирование UHV-систем
  • Многопозиционное размещение оборудования
  • Гибкая компоновка для сложных экспериментов и вакуумных стендов

Типичные значения параметров, улучшенные — по согласованию

Параметр Значение
Форма камеры Типовая — восьмигранная, возможны варианты
Полезный объем 50–1000 л
Материал Нержавеющая сталь (12Х18Н10Т, AISI 304, 316L)
Диапазон рабочего давления От атмосферного до 10⁻⁶…10⁻⁸ Торр (в базовой комплектации);
до 10⁻⁹…10⁻¹⁰ Торр с опциями
Тип уплотнений Эластомерные (FKM, Viton), круглого или прямоугольного сечения.
Для сверхвысоковакуумных камер — медные уплотнения.
Доступ в вакуумный объём Дверь с петлями, съёмная стенка/фланец/загрузочная дверь на стандартном фланце
Порты/фланцы подключения CF (ConFlat) — медные уплотнения/прокладки
ISO-K — центрирующее и уплотнительное кольца, под струбцины
ISO-F — центрирующее и уплотнительное кольца, под болты
KF — быстроразъёмные соединения, под хомут
ГОСТ — в основном эластичные уплотнения, под болты
Нестандартные размеры/форма, в том числе прямоугольных
Температура прогрева До 150°C
Обработка внутренней поверхности Механическая или электрохимическая полировка
Сварные швы, контроль герметичности Сварка ручная в среде защитных газов, сварные швы по ГОСТ 14771-76.
Вакуумноплотные сварные швы проверяются на герметичность гелиевым течеискателем, течи в пределах чувствительности прибора не допускаются.
Габаритные размеры До 1200×1200×1200 мм

Лучшие продуктыДругое оборудование из категории

  • Прямоугольные вакуумные камеры

    Прямоугольные вакуумные камеры

  • Большие вакуумные камеры

    Большие вакуумные камеры

  • Цилиндрические вакуумные камеры

    Цилиндрические вакуумные камеры

  • Сверхвысоковакуумные (UHV) камеры

    Сверхвысоковакуумные (UHV) камеры