Многогранные вакуумные камеры изготавливаются из нержавеющей стали (12Х18Н10Т, AISI 304, 316L) и обладают прочной, герметичной конструкцией. Для повышения прочностных характеристик, а также для снижения общей массы вакуумной камеры, обычно используются усиливающие рёбра жёсткости. Типовая форма — восьмигранная, обеспечивающая высокую механическую устойчивость при откачке, а также оптимальное распределение фланцев и портов по периметру корпуса.
Симметричная геометрия упрощает интеграцию большого количества вакуумных портов, диагностических окон, манипуляторов, источников обработки и другой оснастки. Внешняя поверхность может быть полированной или матовой (пескоструйной) — по выбору заказчика. Камеры комплектуются фланцами стандартов CF, KF, ISO-K, уплотнительными элементами (эластомерными или металлическими) и, при необходимости, системой водяного охлаждения.
Все камеры проходят проверку герметичности (испытание на натекание) с использованием гелиевого течеискателя. Конструкция легко интегрируется с откачными системами, управляющими стойками, плазменными источниками и модулями напыления. Возможна адаптация геометрии и оснащения под конкретный технологический процесс или эксперимент. При заказе чертежи приветствуются, но не обязательны — при необходимости мы разработаем полный комплект КД.
Применение:
- Нанесение функциональных и декоративных тонкопленочных покрытий
- Плазменная и ионная обработка
- Исследования в области материаловедения и физики твердого тела
- Сборка, тестирование и прототипирование UHV-систем
- Многопозиционное размещение оборудования
- Гибкая компоновка для сложных экспериментов и вакуумных стендов
Типичные значения параметров, улучшенные — по согласованию
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Форма камеры | Типовая — восьмигранная, возможны варианты |
| Полезный объем | 50–1000 л |
| Материал | Нержавеющая сталь (12Х18Н10Т, AISI 304, 316L) |
| Диапазон рабочего давления | От атмосферного до 10⁻⁶…10⁻⁸ Торр (в базовой комплектации); до 10⁻⁹…10⁻¹⁰ Торр с опциями |
| Тип уплотнений | Эластомерные (FKM, Viton), круглого или прямоугольного сечения. Для сверхвысоковакуумных камер — медные уплотнения. |
| Доступ в вакуумный объём | Дверь с петлями, съёмная стенка/фланец/загрузочная дверь на стандартном фланце |
| Порты/фланцы подключения | CF (ConFlat) — медные уплотнения/прокладки ISO-K — центрирующее и уплотнительное кольца, под струбцины ISO-F — центрирующее и уплотнительное кольца, под болты KF — быстроразъёмные соединения, под хомут ГОСТ — в основном эластичные уплотнения, под болты Нестандартные размеры/форма, в том числе прямоугольных |
| Температура прогрева | До 150°C |
| Обработка внутренней поверхности | Механическая или электрохимическая полировка |
| Сварные швы, контроль герметичности | Сварка ручная в среде защитных газов, сварные швы по ГОСТ 14771-76. Вакуумноплотные сварные швы проверяются на герметичность гелиевым течеискателем, течи в пределах чувствительности прибора не допускаются. |
| Габаритные размеры | До 1200×1200×1200 мм |
