Вакуумные камеры D-образной формы для HV и UHV | АкадемВак
Связаться с нами
Контакты
Адрес
630090, г. Новосибирск,
ул. Инженерная 7/1, офис 36
Телефон
+7 (383) 375-04-27
Email
info@academvac.ru
Смотреть на карте
+7 (383) 375 94 07
Связаться с нами
Опишите установку и требуемый результат — предложим решение. Поможем выбрать формат работ и подготовим план действий.​ Отдел продаж: +7 (383) 375-94-07
Вакуумные камеры D-образной формы
Вакуумные камеры D-образной формы — изображение 2
Вакуумные камеры D-образной формы — изображение 3

Вакуумные камеры D-образной формы

D-образные вакуумные камеры — это компактные и универсальные решения, имеют корпус с горизонтальным поперечным сечением D-формы и прямоугольным торцом (передним фасадом) с дверцей полного доступа. Главная особенность вакуумной камеры этого типа — ее универсальность и удобство при работе с вращающимися подложками.

Конструкция с D-образной задней частью обеспечивает эффективное использование внутреннего объема, что делает ее подходящей для самых разных процессов, требующих высокого (HV) и сверхвысокого (UHV) вакуума.

Характеристики

Конструкция и габариты
Форма камеры

D-образная, Прямоугольный торец (фасад)

Ориентация установки

—

Полезный объём

20–1000 л

Габаритные размеры

До 1200×1200×1200 мм

Материал корпуса

Нержавеющая сталь (12Х18Н10Т, AISI 304, 316L)

Материал двери / колпака

Алюминий, Нержавеющая сталь

Доступ в вакуумный объём

Зажимы по контуру, Фронтальная дверь с двухшарнирными петлями

Механизм двери / колпака

Быстрое открывание, Быстросъемные зажимы, Двухшарнирные петли

Габарит более 2 м

—

Вакуумные и технологические параметры
Диапазон рабочего давления (базовая комплектация)

От атмосферного до 10⁻⁶…10⁻⁸ Торр

Диапазон рабочего давления (опция UHV)

—

Тип уплотнений

Эластомерные для двери (FKM, Viton), Эластомерные или металлические для прочих фланцев

Температура прогрева, max

До 150 °C

Вакуумный отжиг / термообработка

—

Обработка внутренней поверхности

Механическая или электрохимическая полировка, Пескоструйная, По требованиям

Обработка внешней поверхности

Пескоструйная — по выбору

Совместимость с UHV-компонентами / режим

HV, UHV

Предварительная очистка

—

Порты и фланцы

CF, ISO-F, ISO-K, KF, ГОСТ, Нестандартные, включая прямоугольные

Сварка / способ изготовления

Сварка ручная в среде защитных газов, ГОСТ 14771-79

Контроль герметичности

Гелиевый течеискатель

Скорость утечки (гелий)

В пределах чувствительности гелиевого течеискателя

Испытание на натекание

Все камеры проходят испытание на натекание

Комплектация, опции и заказ
Водяное охлаждение

По запросу

Смотровые окна

По компоновке

Вакуумные и электрические вводы

По компоновке

Внутреннее экранирование (μ-металл)

—

Дополнительная комплектация и опции

Ввод вращения, Нагрев, Охлаждение, Смотровые окна

Расчёт нагрузок (FEM-моделирование)

По запросу

Радиационно-защищённое исполнение

По запросу

Чертежи заказчика

Приветствуются, но не обязательны

Описание

Камеры D-образной формы сочетают в себе эргономику прямоугольных решений и преимущества округлой геометрии. Такая конструкция обеспечивает равномерное распределение внешнего давления при вакууме и способствует более эффективной откачке, сводя к минимуму «паразитный» объем. Плоский передний торец (фасад) упрощает интеграцию двери, портов и смотровых окон, а формованная задняя часть повышает вакуумную совместимость камеры.

Корпус изготавливается из нержавеющей стали (12Х18Н10Т, AISI 304, 316L). Обработка внутренней поверхности: пескоструйная или электрохимическая полировка (по выбору заказчика). Камера комплектуется вакуумными портами (фланцами) по техническому заданию и может оснащаться вводом вращения подложек, нагревателями, электрическими вводами и смотровыми окнами.

Дверца камеры снабжена надежным уплотнением и механизмом быстрого открывания, обеспечивая полный доступ к рабочему объему. Петли для открывания двери имеют двухшарнирную конструкцию, обеспечивающую равномерное прилегание двери к уплотнителю. Типовое исполнение не предусматривает водяного охлаждения, но бывают конфигурации с каналами/рубашкой охлаждения. Все вакуумные камеры проходят контроль герметичности методом гелиевого течеискания.

Наличие чертежей при заказе приветствуется, однако при необходимости мы самостоятельно разработаем полный комплект конструкторской документации.

Применение:

  • Лабораторная отработка технологических процессов напыления
  • Вакуумная термообработка и дегазация
  • Исследовательские стенды и НИОКР
  • Прототипирование оборудования для UHV-режимов

Типичные значения параметров, улучшенные — по согласованию

Параметр Значение
Форма камеры D-образная
Полезный объем 20–1000 л
Материал Нержавеющая сталь 12Х18Н10Т, AISI 304, 316L
Материал двери — нерж. сталь, алюминий
Диапазон рабочего давления От атмосферного до 10⁻⁶…10⁻⁸ Торр
Тип уплотнений Эластомерные для двери (FKM, Viton), эластомерные или металлические для прочих фланцев (по запросу)
Доступ в вакуумный объём Фронтальная дверь с двухшарнирными петлями. Зажимы по контуру для фиксации/прижима
Порты/фланцы подключения CF (ConFlat) — медные прокладки
ISO-K — кольца под струбцины
ISO-F — кольца под болты
KF — быстроразъёмы под хомут
ГОСТ — эластичные уплотнения под болты
Нестандартные размеры, включая прямоугольные
Температура прогрева До 150°C
Обработка внутренней поверхности Механическая или электрохимическая полировка
Сварные швы, контроль герметичности Ручная сварка в защитных газах, по ГОСТ 14771-76
Проверка гелиевым течеискателем, течи не допускаются
Габаритные размеры До 1200×1200×1200 мм

Лучшие продуктыДругое оборудование из категории

  • Прямоугольные вакуумные камеры

    Прямоугольные вакуумные камеры

  • Алюминиевые (цельные) вакуумные камеры

    Алюминиевые (цельные) вакуумные камеры

  • Многогранные вакуумные камеры

    Многогранные вакуумные камеры

  • Цилиндрические вакуумные камеры

    Цилиндрические вакуумные камеры