Камеры D-образной формы сочетают в себе эргономику прямоугольных решений и преимущества округлой геометрии. Такая конструкция обеспечивает равномерное распределение внешнего давления при вакууме и способствует более эффективной откачке, сводя к минимуму «паразитный» объем. Плоский передний торец (фасад) упрощает интеграцию двери, портов и смотровых окон, а формованная задняя часть повышает вакуумную совместимость камеры.
Корпус изготавливается из нержавеющей стали (12Х18Н10Т, AISI 304, 316L). Обработка внутренней поверхности: пескоструйная или электрохимическая полировка (по выбору заказчика). Камера комплектуется вакуумными портами (фланцами) по техническому заданию и может оснащаться вводом вращения подложек, нагревателями, электрическими вводами и смотровыми окнами.
Дверца камеры снабжена надежным уплотнением и механизмом быстрого открывания, обеспечивая полный доступ к рабочему объему. Петли для открывания двери имеют двухшарнирную конструкцию, обеспечивающую равномерное прилегание двери к уплотнителю. Типовое исполнение не предусматривает водяного охлаждения, но бывают конфигурации с каналами/рубашкой охлаждения. Все вакуумные камеры проходят контроль герметичности методом гелиевого течеискания.
Наличие чертежей при заказе приветствуется, однако при необходимости мы самостоятельно разработаем полный комплект конструкторской документации.
Применение:
- Лабораторная отработка технологических процессов напыления
- Вакуумная термообработка и дегазация
- Исследовательские стенды и НИОКР
- Прототипирование оборудования для UHV-режимов
Типичные значения параметров, улучшенные — по согласованию
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Форма камеры | D-образная |
| Полезный объем | 20–1000 л |
| Материал | Нержавеющая сталь 12Х18Н10Т, AISI 304, 316L Материал двери — нерж. сталь, алюминий |
| Диапазон рабочего давления | От атмосферного до 10⁻⁶…10⁻⁸ Торр |
| Тип уплотнений | Эластомерные для двери (FKM, Viton), эластомерные или металлические для прочих фланцев (по запросу) |
| Доступ в вакуумный объём | Фронтальная дверь с двухшарнирными петлями. Зажимы по контуру для фиксации/прижима |
| Порты/фланцы подключения | CF (ConFlat) — медные прокладки ISO-K — кольца под струбцины ISO-F — кольца под болты KF — быстроразъёмы под хомут ГОСТ — эластичные уплотнения под болты Нестандартные размеры, включая прямоугольные |
| Температура прогрева | До 150°C |
| Обработка внутренней поверхности | Механическая или электрохимическая полировка |
| Сварные швы, контроль герметичности | Ручная сварка в защитных газах, по ГОСТ 14771-76 Проверка гелиевым течеискателем, течи не допускаются |
| Габаритные размеры | До 1200×1200×1200 мм |
