Сверхвысоковакуумные (UHV) камеры

Камеры для сверхвысокого вакуума применяются в задачах, где критически важно поддерживать чистое и стабильное давление от 10⁻⁹ до 10⁻¹¹ Торр. Для этого тщательно прорабатываются все элементы конструкции: марка стали, конфигурация фланцев, уплотнения и термообработка.

Корпус изготавливается из нержавеющей стали с пониженным содержанием углерода (обычно AISI 304L или 316L), подвергается обязательному вакуумному отжигу при температурах до 400 °C, ультразвуковой и химической очистке. Конструкция оптимизирована для минимизации паразитных объемов (газовых ловушек). Все сварные соединения выполняются аргонодуговой сваркой (TIG). Используются только CF-фланцы с металлическими (медными) уплотнениями.

Внутренние поверхности тщательно полируются или химически обрабатываются для снижения остаточной адсорбции газов. Камеры полностью совместимы с компонентами UHV-систем: ионными насосами, геттерными сборками и анализаторами остаточных газов и прочим оборудованием, предназначенным для UHV-применений.

Все вакуумные камеры проходят испытания на натекание. Возможно внутреннее экранирование: по запросу внутренняя часть камеры может быть оснащена экранами из μ-металла для защиты от остаточных магнитных полей.

Применение:

• Физические и химические исследования на уровне атомов и молекул
• Установки по напылению в условиях UHV
• Сканирующая туннельная и электронная микроскопия
• Системы с ионной и электронной оптикой
• Лабораторные стенды по изучению поверхностных процессов
• UHV-манипуляторы, транспортные магистрали, испытательные стенды

Типичные значения параметров, улучшенные — по согласованию