Камеры для сверхвысокого вакуума применяются в задачах, где критически важно поддерживать чистое и стабильное давление от 10⁻⁹ до 10⁻¹¹ Торр. Для этого тщательно прорабатываются все элементы конструкции: марка стали, конфигурация фланцев, уплотнения и термообработка.
Корпус изготавливается из нержавеющей стали с пониженным содержанием углерода (обычно AISI 304L или 316L), подвергается обязательному вакуумному отжигу при температурах до 400 °C, ультразвуковой и химической очистке. Конструкция оптимизирована для минимизации паразитных объемов (газовых ловушек). Все сварные соединения выполняются аргонодуговой сваркой (TIG). Используются только CF-фланцы с металлическими (медными) уплотнениями.
Внутренние поверхности тщательно полируются или химически обрабатываются для снижения остаточной адсорбции газов. Камеры полностью совместимы с компонентами UHV-систем: ионными насосами, геттерными сборками и анализаторами остаточных газов и прочим оборудованием, предназначенным для UHV-приложений.
Все вакуумные камеры проходят испытания на натекание. Возможно внутреннее экранирование: по запросу внутренняя часть камеры может быть оснащена экранами из μ-металла для защиты от остаточных магнитных полей.
Применение:
- Физические и химические исследования на уровне атомов и молекул
- Установки по напылению в условиях UHV
- Сканирующая туннельная и электронная микроскопия
- Системы с ионной и электронной оптикой
- Лабораторные стенды по изучению поверхностных процессов
- UHV-манипуляторы, транспортные магистрали, испытательные стенды
Типичные значения параметров, улучшенные — по согласованию
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Форма камеры | Индивидуально по ТЗ |
| Полезный объем | 20–500 л |
| Материал | Нержавеющая сталь (обычно AISI 304L или 316L) |
| Диапазон рабочего давления | От атмосферного до 10⁻⁹…10⁻¹¹ Торр (при условии термообработки и использования UHV-компонентов) |
| Тип уплотнений | Металлические уплотнения: медные, алюминиевые или индиевые кольца |
| Доступ в вакуумный объём | Доступ через шлюзовые камеры загрузки-выгрузки |
| Порты/фланцы подключения | CF (ConFlat) — медные уплотнения/прокладки Нестандартные размеры/форма, в том числе прямоугольных |
| Температура прогрева | До 400°C |
| Обработка внутренней поверхности | Электрохимическая полировка, термообработка |
| Сварные швы, контроль герметичности | Сварка ручная в среде защитных газов, сварные швы по ГОСТ 14771-76. Вакуумноплотные сварные швы проверяются на герметичность гелиевым течеискателем, течи в пределах чувствительности прибора не допускаются. |
| Габаритные размеры | Согласно ТЗ |
