Корпус камеры — цельнофрезерованный, изготовлен из высококачественного алюминиевого сплава. Отсутствие сварных швов снижает уровень утечек и внутренних напряжений, облегчая достижение сверхвысокого вакуума (UHV). Поверхность может быть обработана по запросу: матовая (мелкоабразивная обработка) или глянцевая (механическая полировка, анодирование).
Конструкция предусматривает установку вакуумных портов (фланцев), конфигурация которых адаптируется под требования заказчика. Высокая теплопроводность алюминия обеспечивает эффективный теплообмен — критически важный параметр для термонагруженных вакуумных процессов. Масса алюминиевой камеры на 40–50% ниже по сравнению с аналогами из нержавеющей стали.
Камера не содержит ферромагнитных материалов и отличается крайне низкой остаточной намагниченностью, что делает ее совместимой с магниточувствительным оборудованием. Низкое (менее 0,01%) содержание углерода в сплаве гарантирует минимальное газовыделение и стабильную вакуумную среду.
Дверца оснащается надежным уплотнением и механизмом быстрого открывания, обеспечивая полный и удобный доступ к рабочему объему. Петли для открывания двери имеют двухшарнирную конструкцию, обеспечивающую равномерное прилегание двери к уплотнителю. Все камеры проходят контроль герметичности методом гелиевого течеискания.
Наличие чертежей при заказе приветствуется, но не является обязательным — при необходимости мы разработаем полный комплект конструкторской документации.
Применение:
- Научные исследования, в том числе в области физики поверхности и тонкопленочных технологий
- Вакуумные процессы с высокой тепловой нагрузкой (напыление, отжиг, термодегазация)
- Испытания и калибровка магниточувствительных датчиков и устройств
- Технологические модули для кластерных систем
- Шлюзовые камеры загрузки-выгрузки
- Компактные установки для сверхвысокого вакуума (UHV)
- Прототипирование и кастомные лабораторные стенды
- Вакуумные системы, чувствительные к остаточным газам и намагниченности
Типичные значения параметров, улучшенные — по согласованию
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Форма камеры | Обычно прямоугольная |
| Полезный объем | 1–100 л |
| Материал | Алюминиевый сплав Д16, 6061-T6 и др. |
| Диапазон рабочего давления | От атмосферного до 10⁻⁶…10⁻⁸ Торр |
| Тип уплотнений | Эластомерные (FKM, Viton) |
| Доступ в вакуумный объём | Дверь с петлями, съёмная стенка/фланец/загрузочная дверь на стандартном фланце |
| Порты/фланцы подключения | ISO-K — центрирующее и уплотнительное кольца, под струбцины ISO-F — центрирующее и уплотнительное кольца, под болты KF — быстроразъёмные соединения, под хомут ГОСТ — в основном эластичные уплотнения, под болты Нестандартные размеры/форма, в том числе прямоугольных |
| Температура прогрева | До 120°C |
| Обработка внутренней поверхности | Анодирование, химическое пассивирование или оставляется чистым (в зависимости от требований) |
| Сварные швы, контроль герметичности | Изготавливаются из цельной заготовки без использования сварки |
| Габаритные размеры | До 400×400×400 мм |
