Алюминиевые вакуумные камеры (цельные) для HV и UHV | АкадемВак
Связаться с нами
Контакты
Адрес
630090, г. Новосибирск,
ул. Инженерная 7/1, офис 36
Телефон
+7 (383) 375-04-27
Email
info@academvac.ru
Смотреть на карте
+7 (383) 375 94 07
Связаться с нами
Опишите установку и требуемый результат — предложим решение. Поможем выбрать формат работ и подготовим план действий.​ Отдел продаж: +7 (383) 375-94-07
Алюминиевые (цельные) вакуумные камеры
Алюминиевые (цельные) вакуумные камеры — изображение 2
Алюминиевые (цельные) вакуумные камеры — изображение 3

Алюминиевые (цельные) вакуумные камеры

Алюминиевые вакуумные камеры цельной конструкции изготавливаются из алюминиевых сплавов и предназначены для работы в условиях высокого (HV) и сверхвысокого (UHV) вакуума. Их ключевая особенность — монолитный корпус без сварных швов, что значительно снижает уровень газовыделения и повышает герметичность.

Во многих случаях алюминий представляет собой более предпочтительный конструкционный материал по сравнению с нержавеющей сталью. Он обеспечивает высокую теплопроводность, малую массу и отличные вакуумные характеристики, делая такие камеры особенно эффективными для чувствительных и прецизионных процессов.

Характеристики

Конструкция и габариты
Форма камеры

Прямоугольная

Ориентация установки

—

Полезный объём

1–100 л

Габаритные размеры

До 400×400×400 мм

Материал корпуса

Алюминиевый сплав (Д16, 6061-T6 и др), Цельнофрезерованный монолит

Особенности материала корпуса

Высокая теплопроводность, Масса на 40–50% ниже, чем у аналога из нержавеющей стали, Не содержит ферромагнитных материалов, Низкая остаточная намагниченность, Содержание углерода в сплаве < 0,01%

Материал двери / колпака

—

Доступ в вакуумный объём

Дверь с петлями, Съёмная стенка/фланец/загрузочная дверь на стандартном фланце

Механизм двери / колпака

Быстрое открывание, Двухшарнирные петли

Габарит более 2 м

—

Вакуумные и технологические параметры
Диапазон рабочего давления (базовая комплектация)

От атмосферного до 10⁻⁶…10⁻⁸ Торр

Диапазон рабочего давления (опция UHV)

—

Тип уплотнений

Эластомерные (FKM, Viton) круглого или прямоугольного сечения

Температура прогрева, max

До 120 °C

Вакуумный отжиг / термообработка

—

Обработка внутренней поверхности

Анодирование, По требованиям, Химическое пассивирование, Чистая поверхность

Обработка внешней поверхности

Полированная или матовая (пескоструйная) — по выбору

Совместимость с UHV-компонентами / режим

HV, UHV

Предварительная очистка

—

Порты и фланцы

ISO-F, ISO-K, KF, ГОСТ, Нестандартные, включая прямоугольные

Сварка / способ изготовления

Из цельной заготовки без использования сварки

Контроль герметичности

Гелиевый течеискатель

Скорость утечки (гелий)

В пределах чувствительности гелиевого течеискателя

Испытание на натекание

Все камеры проходят испытание на натекание

Комплектация, опции и заказ
Водяное охлаждение

По запросу

Смотровые окна

По запросу

Вакуумные и электрические вводы

По ТЗ

Внутреннее экранирование (μ-металл)

—

Дополнительная комплектация и опции

Конфигурация портов по ТЗ

Расчёт нагрузок (FEM-моделирование)

По запросу

Радиационно-защищённое исполнение

По запросу

Чертежи заказчика

Приветствуются, но не обязательны

Описание

Корпус камеры — цельнофрезерованный, изготовлен из высококачественного алюминиевого сплава. Отсутствие сварных швов снижает уровень утечек и внутренних напряжений, облегчая достижение сверхвысокого вакуума (UHV). Поверхность может быть обработана по запросу: матовая (мелкоабразивная обработка) или глянцевая (механическая полировка, анодирование).

Конструкция предусматривает установку вакуумных портов (фланцев), конфигурация которых адаптируется под требования заказчика. Высокая теплопроводность алюминия обеспечивает эффективный теплообмен — критически важный параметр для термонагруженных вакуумных процессов. Масса алюминиевой камеры на 40–50% ниже по сравнению с аналогами из нержавеющей стали.

Камера не содержит ферромагнитных материалов и отличается крайне низкой остаточной намагниченностью, что делает ее совместимой с магниточувствительным оборудованием. Низкое (менее 0,01%) содержание углерода в сплаве гарантирует минимальное газовыделение и стабильную вакуумную среду.

Дверца оснащается надежным уплотнением и механизмом быстрого открывания, обеспечивая полный и удобный доступ к рабочему объему. Петли для открывания двери имеют двухшарнирную конструкцию, обеспечивающую равномерное прилегание двери к уплотнителю. Все камеры проходят контроль герметичности методом гелиевого течеискания.

Наличие чертежей при заказе приветствуется, но не является обязательным — при необходимости мы разработаем полный комплект конструкторской документации.

Применение:

  • Научные исследования, в том числе в области физики поверхности и тонкопленочных технологий
  • Вакуумные процессы с высокой тепловой нагрузкой (напыление, отжиг, термодегазация)
  • Испытания и калибровка магниточувствительных датчиков и устройств
  • Технологические модули для кластерных систем
  • Шлюзовые камеры загрузки-выгрузки
  • Компактные установки для сверхвысокого вакуума (UHV)
  • Прототипирование и кастомные лабораторные стенды
  • Вакуумные системы, чувствительные к остаточным газам и намагниченности

Типичные значения параметров, улучшенные — по согласованию

Параметр Значение
Форма камеры Обычно прямоугольная
Полезный объем 1–100 л
Материал Алюминиевый сплав Д16, 6061-T6 и др.
Диапазон рабочего давления От атмосферного до 10⁻⁶…10⁻⁸ Торр
Тип уплотнений Эластомерные (FKM, Viton)
Доступ в вакуумный объём Дверь с петлями, съёмная стенка/фланец/загрузочная дверь на стандартном фланце
Порты/фланцы подключения ISO-K — центрирующее и уплотнительное кольца, под струбцины
ISO-F — центрирующее и уплотнительное кольца, под болты
KF — быстроразъёмные соединения, под хомут
ГОСТ — в основном эластичные уплотнения, под болты
Нестандартные размеры/форма, в том числе прямоугольных
Температура прогрева До 120°C
Обработка внутренней поверхности Анодирование, химическое пассивирование или оставляется чистым (в зависимости от требований)
Сварные швы, контроль герметичности Изготавливаются из цельной заготовки без использования сварки
Габаритные размеры До 400×400×400 мм

Лучшие продуктыДругое оборудование из категории

  • Сверхвысоковакуумные (UHV) камеры

    Сверхвысоковакуумные (UHV) камеры

  • Многогранные вакуумные камеры

    Многогранные вакуумные камеры

  • Большие вакуумные камеры

    Большие вакуумные камеры

  • Цилиндрические вакуумные камеры

    Цилиндрические вакуумные камеры