Прямоугольные (кубические) вакуумные камеры | АкадемВак
Связаться с нами
Контакты
Адрес
630090, г. Новосибирск,
ул. Инженерная 7/1, офис 36
Телефон
+7 (383) 375-04-27
Email
info@academvac.ru
Связаться с нами
Опишите установку и требуемый результат — предложим решение. Поможем выбрать формат работ и подготовим план действий.​ Отдел продаж: +7 (383) 375-94-07

Прямоугольные вакуумные камеры

Прямоугольные (коробчатые) вакуумные камеры — это универсальные платформы для технологических и исследовательских задач.

Классическая форма обеспечивает легкий доступ ко всем зонам внутреннего объема, удобную установку оборудования и эффективное использование пространства. Камеры подходят для работы в диапазоне от среднего до сверхвысокого вакуума (UHV).

Характеристики

Конструкция и габариты
Форма камеры

Кубическая, Прямоугольная

Ориентация установки

Полезный объём

50–1000 л

Габаритные размеры

До 1200×1200×1200 мм

Материал корпуса

Нержавеющая сталь (12Х18Н10Т, AISI 304, 316L)

Материал двери / колпака

Доступ в вакуумный объём

Дверь с петлями, Съёмная стенка/фланец/загрузочная дверь на стандартном фланце

Механизм двери / колпака

Дверь на петлях, Стандартные круглые двери на фланцах, Съёмные прямоугольные фланцы-панели

Габарит более 2 м

По запросу

Вакуумные и технологические параметры
Диапазон рабочего давления (базовая комплектация)

От атмосферного до 10⁻⁶…10⁻⁸ Торр

Диапазон рабочего давления (опция UHV)

До 10⁻⁹…10⁻¹⁰ Торр с опциями

Тип уплотнений

Для UHV — медные, Эластомерные (FKM, Viton), круглого или прямоугольного сечения

Температура прогрева, max

До 150 °C

Вакуумный отжиг / термообработка

Обработка внутренней поверхности

Механическая или электрохимическая полировка

Обработка внешней поверхности

Совместимость с UHV-компонентами / режим

С опциями до 10⁻⁹…10⁻¹⁰ Торр

Предварительная очистка

Порты и фланцы

CF, ISO-F, ISO-K, KF, ГОСТ, Нестандартные, включая прямоугольные

Сварка / способ изготовления

Сварка ручная в среде защитных газов, ГОСТ 14771-76

Контроль герметичности

Гелиевый течеискатель

Скорость утечки (гелий)

В пределах чувствительности гелиевого течеискателя

Испытание на натекание

Все камеры проходят испытание на натекание

Комплектация, опции и заказ
Водяное охлаждение

По компоновке

Смотровые окна

По компоновке

Вакуумные и электрические вводы

По компоновке

Внутреннее экранирование (μ-металл)

Дополнительная комплектация и опции

Держатели образцов, Крепления для нестандартных компонентов, Нагрев, Охлаждаемые панели

Расчёт нагрузок (FEM-моделирование)

По запросу

Радиационно-защищённое исполнение

По запросу

Чертежи заказчика

Приветствуются, но не обязательны

Описание

Прямоугольные вакуумные камеры востребованы благодаря простой и рациональной геометрии, которая обеспечивает максимальный рабочий объем при компактных внешних габаритах. Такая форма удобна для монтажа технологической оснастки, проведения испытаний крупногабаритных изделий и интеграции с откачными системами, модулями нагрева, напыления и визуального контроля. Для доступа во внутреннее пространство могут быть предусмотрены двери на петлях, съёмные прямоугольные фланцы-панели, стандартные круглые двери на фланцах.

Конструкция упрощает обслуживание, чистку и модернизацию, а также дает гибкость в размещении фланцев, электрических вводов и смотровых окон. Возможна установка охлаждаемых панелей, держателей образцов, систем нагрева и креплений для нестандартных компонентов.

По запросу могут быть изготовлены камеры длиной более 2 метров, включая решения с повышенной жесткостью и усиленным каркасом. Все камеры проходят обязательную проверку герметичности (испытание на натекание) с применением гелиевого течеискателя. Конфигурация адаптируется под задачи заказчика. При заказе чертежи приветствуются, но не обязательны — при необходимости мы разработаем полный комплект КД.

Применение:

  • Тестирование макетов, образцов и компонентов оборудования
  • Термовакуумные испытания, включая крупногабаритные объекты
  • Дегазация, отжиг
  • Научные и прикладные эксперименты с гибкой внутренней компоновкой
  • Проектирование и изготовление «под ключ» нестандартных вакуумных систем

Типичные значения параметров, улучшенные — по согласованию

Параметр Значение
Форма камеры Прямоугольная (в том числе кубическая)
Полезный объем 50–1000 л
Материал Нержавеющая сталь (12Х18Н10Т, AISI 304, 316L)
Диапазон рабочего давления От атмосферного до 10⁻⁶…10⁻⁸ Торр (в базовой комплектации);
до 10⁻⁹…10⁻¹⁰ Торр с опциями
Тип уплотнений Эластомерные (FKM, Viton), круглого или прямоугольного сечения.
Для сверхвысоковакуумных камер — медные уплотнения.
Доступ в вакуумный объём Дверь с петлями, съёмная стенка/фланец/загрузочная дверь на стандартном фланце
Порты/фланцы подключения CF (ConFlat) — медные уплотнения/прокладки
ISO-K — центрирующее и уплотнительное кольца, под струбцины
ISO-F — центрирующее и уплотнительное кольца, под болты
KF — быстроразъёмные соединения, под хомут
ГОСТ — в основном эластичные уплотнения, под болты
Нестандартные размеры/форма, в том числе прямоугольных
Температура прогрева До 150°C
Обработка внутренней поверхности Механическая или электрохимическая полировка
Сварные швы, контроль герметичности Сварка ручная в среде защитных газов, сварные швы по ГОСТ 14771-76.
Вакуумноплотные сварные швы проверяются на герметичность гелиевым течеискателем, течи в пределах чувствительности прибора не допускаются.
Габаритные размеры До 1200×1200×1200 мм