Что мы разрабатываем
Вакуумные камеры различных конфигураций
Проектируем вакуумные камеры под требования заказчика. Рассчитываем прочность корпуса с применением метода конечных элементов.
Материалы:
- Нержавеющая сталь AISI 304L/316L
- Алюминиевый сплав (цельнофрезерованные камеры)
- Другие материалы (по требованию заказчика)
Формы:
- Цилиндрические
- Прямоугольные (призматические)
- D-образные
- Колпакового типа
- Многогранные
Фланцевые соединения:
- Стандартные: ISO-K, ISO-F, KF, CF
- Нестандартные решения по требованиям заказчика
Камеры комплектуются технологическими модулями: технологическими устройствами (магнетронами, термическими испарителями, ионными источниками и т.д.), системами нагрева, системами напуска процессных газов, подложкодержателем, системой охлаждения, системой откачки и аналитическим оборудованием.
Технологические установки под любые задачи
Создаём установки для различных процессов вакуумного осаждения и обработки.
Методы:
- Магнетронное напыление
- Термическое и электронно-лучевое испарение
- Химическое осаждение из газовой фазы (CVD/PECVD)
- Реактивно-ионное травление (RIE)
- Дуговое испарение
- Атомно-слоевое осаждение
По масштабу:
- Лабораторные — компактные системы для исследований и разработки технологий
- Универсальные — гибкие установки для мелкосерийного производства и опытных образцов
- Промышленные — высокопроизводительные системы для серийного производства с автоматизацией
По назначению:
- Исследовательские — для фундаментальных исследований и разработки новых материалов
- Сверхвысоковакуумные (UHV) — системы с предельным давлением до 7,5×10⁻¹¹ Торр для молекулярно-лучевой эпитаксии и аналитических методов
- Кластерные — многомодульные системы с роботизированной транспортировкой подложек для многоэтапных процессов без разгерметизации
Установки можно оснастить аналитическим оборудованием: масс-спектрометрами, эллипсометрами, системами контроля толщины покрытий.
Откачные посты и вакуумные системы
Разрабатываем комплексные системы откачки для обеспечения требуемого уровня вакуума.
Типы систем:
- Форвакуумные — пластинчато-роторные, винтовые, спиральные насосы для грубой откачки
- Высоковакуумные — турбомолекулярные и диффузионные насосы в комбинации с форвакуумом
- Сверхвысоковакуумные (UHV) — ионные и криогенные насосы для достижения давления до 7,5×10⁻¹¹ Торр
Конфигурации:
- Автономные откачные посты для отдельных установок
- Централизованные системы для группового вакуумирования нескольких установок
Специализированные узлы и компоненты
Разрабатываем и изготавливаем отдельные узлы для вакуумных установок.
Технологические модули:
- Магнетронные распылительные системы с различными типами магнитных систем
- Ионные источники для очистки и активации подложек
- Нагреватели подложек (температурный диапазон до 250–800°C или по согласованию с заказчиком)
- Держатели подложек с вращением для равномерности покрытий
Транспортные системы:
- Загрузочные шлюзы
- Транспортные модули для кластерных систем
- Манипуляторы для позиционирования образцов
Системы управления и автоматизации
Проектируем как ручные, так и автоматизированные системы управления технологическими процессами.
Функции управления:
- Стабилизация давления
- Контроль температуры
- Управление расходом газов
- Управление технологическими источниками
- Автоматизированный процесс откачки
- Контроль вращения подложкодержателя через ПК
Автоматизация и рецепты:
- Автоматизированное управление процессом осаждения по заранее сохраненным рецептам
- Возможность создания до 1000 технологических рецептов
- Возможность задания как отдельных шагов технологического процесса, так и многоступенчатых блоков рецептов
- Возможность объединения блоков рецептов в единый технологический цикл, интегрированный в ПО
Мониторинг, данные и отчетность:
- Визуализация процесса в реальном времени
- Отображение показаний всех вакуумметров на дисплее
- Регистрация данных и отображение графиков
- Редактирование технологических шагов, хранение и регистрация данных через ПК
- Автоматическое создание отчета по параметрам с последующим хранением в памяти ПК
- Возможность просмотра логов для проверки рецептов in-situ (в процессе) и после техпроцесса
Безопасность и администрирование:
- Аварийная сигнализация и защита оборудования
- Блокировки по отсутствию потока и давления в водяной магистрали, магистрали газов
- Несколько ступеней допуска для работы персонала с разной квалификацией с индивидуальными логинами и паролями
- Сервисный режим работы с полностью ручным управлением
Платформы и системные требования:
- ПЛК — программируемые логические контроллеры
- SCADA-системы для крупных установок
- ПК на базе Windows, обеспечивающий стабильность и быстроту работы специализированного ПО, подключение всего оборудования в составе установки
- Реализация удаленного доступа для обновления программного обеспечения
Этапы разработки
Обсуждение задачи
Принимаем заявку, уточняем требуемые параметры и ограничения по габаритам. При необходимости выезжаем на объект для оценки условий размещения оборудования.
Техническое задание
Анализируем задачу, формализуем требования, оцениваем техническую реализуемость и возможные риски. Формируем рекомендации по оптимальной конфигурации оборудования.
Разработка проекта и его согласование
Формируем эскизное решение с компоновкой оборудования, определяем габариты рабочей камеры, диапазон вакуума и конфигурацию модулей. Согласуем проект с заказчиком и утверждаем техническое решение.
Проектирование, подбор комплектующих
Создаём детальную 3D-модель с расчётами прочности и газовых потоков. Разрабатываем конструкторскую документацию по ЕСКД, формируем спецификацию оборудования и комплектующих. Согласуем проект и стоимость.
Производство
Изготавливаем детали и узлы на собственных мощностях или у проверенных партнёров.
Контроль качества
Проверяем соответствие требованиям чертежей и технических условий: контролируем геометрические размеры деталей, проверяем герметичность сварных швов гелиевым течеискателем, оцениваем качество обработки поверхностей.
Сборка, отладка, тестирование
Выполняем сборку установки с соблюдением требований чистоты вакуумных систем. Проводим предварительные испытания, настройку систем управления и тестирование основных функций.
Приёмо-сдаточные испытания
Проводим комплексные испытания на соответствие техническому заданию: измеряем предельный вакуум и скорость откачки, проверяем работу всех систем, выполняем тестовые технологические процессы. Оформляем протоколы испытаний.
Передача и сопровождение
Передаём установку с комплектом документации, проводим монтаж и пусконаладку на объекте заказчика, обучаем персонал. Обеспечиваем гарантийную поддержку и консультации по эксплуатации.
Хотите с нами
сотрудничать?
сотрудничать?
Наша команда
Коверзнев Максим Петрович
Генеральный директор
Карпов Дмитрий Николаевич
Исполнительный директор
Амплеев Алексей Александрович
Технический директор
Горшков Дмитрий Витальевич
Ведущий инженер-проектировщик
Болдов Иван Андреевич
Проектный менеджер
Шушаков Антон Александрович
Старший менеджер по продажам
Почему выбирают “АкадемВак”
Научная экспертиза
Наши инженеры имеют опыт работы в научных институтах Академгородка, понимают физику вакуумных процессов и особенности технологий напыления, травления, осаждения.
Индивидуальный подход
Каждый проект разрабатываем с учетом специфических требований заказчика — прорабатываем нестандартные конфигурации, интегрируем уникальные технологические модули, адаптируем под доступную инфраструктуру.
Полный цикл реализации
Выполняем весь комплекс работ от идеи до запуска — заказчику не нужно координировать работу нескольких подрядчиков, мы берем ответственность за весь проект.
Производственные возможности
Обеспечиваем изготовление вакуумных камер, узлов и компонентов с контролем качества, имеем доступ к оборудованию ведущих производителей и налаженные каналы поставки комплектующих.
Вакуумное оборудование под заказ
Опишите ваши технологические требования или техпроцесс — мы предложим оптимальную конфигурацию установки и сделаем расчет.