НИОКР (R&D — Research and Development) — двухэтапный процесс создания нового технического решения.
ОКР выполняются отдельно, когда исследовательская часть завершена: заказчик точно знает, что нужно создать, и предоставляет техническое задание. Задача ОКР — спроектировать установку, изготовить её, провести испытания и передать заказчику.
Работаем как с полным циклом НИОКР (включая предпроектные исследования и выбор концепции), так и с опытно-конструкторскими работами, когда требуется спроектировать и изготовить установку по готовому техническому заданию.
| Когда нужны НИОКР: | Когда достаточно разработки под заказ: |
|
|
Мы разрабатываем вакуумные установки для научных и промышленных задач: от компактных исследовательских систем до сложных многомодульных комплексов. Специализируемся на оборудовании для нанесения тонких плёнок, плазмохимических процессов, термовакуумных испытаний и технологий микроэлектроники.
Специализированные системы диагностики и контроля параметров вакуумных процессов, метрологические стенды для калибровки вакуумметров и течеискателей, метрологическое оборудование для задач микроэлектронной промышленности.
Изучаем задачу заказчика, анализируем существующие решения и их ограничения.
Оцениваем техническую реализуемость, выявляем критические требования и потенциальные риски.
Формируем техническое задание с учётом возможности корректировок на последующих этапах.
Для полного цикла НИОКР. Проводим теоретические расчёты и моделирование процессов. Выполняем лабораторные эксперименты для проверки гипотез и выбора оптимального технического решения.
Анализируем альтернативные подходы, оцениваем их преимущества и ограничения. Определяем концепцию оборудования и ключевые параметры.
Создаём детальную 3D-модель с инженерными расчётами прочности, газодинамики и тепловых режимов.
Разрабатываем комплект конструкторской документации по ЕСКД, подбираем оптимальное оборудование и комплектующие.
Согласуем проект с заказчиком.
Производим детали и узлы на собственных мощностях или у партнёров.
Выполняем сборку установки с контролем качества на всех этапах.
Проводим предварительные испытания и настройку систем управления.
Проводим комплексные испытания для проверки соответствия требованиям ТЗ. Выполняем серию экспериментов для отработки технологических режимов и достижения целевых параметров.
При необходимости вносим конструктивные изменения, дорабатываем узлы и повторяем испытания. Корректируем ТЗ при выявлении технических ограничений или новых возможностей.
Передаём готовую установку с полным комплектом технической документации: конструкторские чертежи, технологические карты, программы испытаний, руководство по эксплуатации.
Проводим обучение персонала.
При необходимости выполняем монтаж и пусконаладку на объекте.
Консультируем по вопросам эксплуатации и оптимизации режимов.
Помогаем с масштабированием технологии для предсерийного производства.
Выполняем модернизацию при изменении требований или появлении новых задач.
Разработали многофункциональную кластерную установку, объединяющую несколько технологических модулей: магнетронного напыления, плазмохимического осаждения, плазмохимического травления.
Система обеспечивает передачу подложек диаметром до 200 мм между модулями без разгерметизации — возможна как ручная, так и автоматизированная роботизированная транспортировка. Система управления позволяет программировать последовательность процессов и контролировать параметры в реальном времени. Более подробно ознакомиться с проектом вы можете на странице Кластерная установка ACADEMVAC CLUSTER.
Выступаем соисполнителем в разработке отечественного оборудования для микроэлектроники. Для установки химико-механической планаризации (ХМП) «Плато» создаём модуль рефлектометрии, включая разработку оптико-электронного блока и специализированного ПО.
В проекте эллипсометрии «Эллипс» разрабатываем термостатированный модуль с точностью поддержания температуры 0,1°C, систему воздухоподготовки (класс чистоты ИСО 3) и программное обеспечение для управления всей установкой.
По обоим проектам подготавливаем полные комплекты конструкторской, технологической и программной документации.
Понимаем физику вакуумных процессов: механизмы ионизации и переноса частиц в плазме, кинетику роста и травления плёнок, влияние параметров на структуру покрытий. Разрабатываем оборудование, точно соответствующее научной задаче. Проводим предпроектные расчёты, оцениваем реализуемость нестандартных требований, предлагаем оптимальные технические решения с обоснованием выбора.
Собственные производственные мощности и партнёрская сеть в Академгородке позволяют изготавливать вакуумные камеры, интегрировать технологические модули и системы автоматизации. Берём полную ответственность за результат от первого эскиза до работающей установки — заказчику не нужно координировать несколько подрядчиков.
Работаем с единичными исследовательскими установками и с опытными образцами для серийного производства. Умеем работать с неполными техническими заданиями: помогаем сформулировать требования на основе анализа задачи. Готовы к итерационной разработке — дорабатываем конструкцию, если в процессе испытаний выявляются новые требования.
Предлагаем поэтапное финансирование с промежуточной приёмкой результатов: это позволяет корректировать технические решения по ходу проекта, если в процессе испытаний выявляются новые вводные. Умеем работать с неполными техническими заданиями, помогаем детализировать требования на каждом этапе разработки.
