Корпус камер изготавливается из нержавеющей стали (12Х18Н10Т, AISI 304, 316L, в редких случаях — из углеродистой стали) и имеет прочную, герметичную конструкцию. Возможны различные геометрии корпуса — цилиндрическая или прямоугольная — с индивидуальным проектированием объема, формы, размещения портов и внутренней оснастки.
Внутренние поверхности могут обрабатываться по выбору: пескоструйная, механическая или электрохимическая полировка. Камеры комплектуются фланцами CF, ISO-K, KF, смотровыми окнами, креплениями и интерфейсами под технологическое оборудование. По запросу возможна установка водяного охлаждения (двойные стенки или встроенные каналы) для отвода тепла при высокотемпературных процессах.
Дверца снабжена системой быстрого открывания и уплотнением, обеспечивающим высокую герметичность. Петли для открывания двери имеют двухшарнирную конструкцию, обеспечивающую равномерное прилегание двери к уплотнителю. Конструкция предусматривает возможность подключения откачных систем, источников напыления, плазменных модулей и управляющих стоек.
Все камеры проходят испытания на натекание с помощью гелиевого течеискателя (утечка < 1×10⁻⁹ mbar∙l/s). При заказе чертежи приветствуются, но не обязательны — при необходимости мы разработаем полный комплект КД для изготовления.
Применение:
- Имитация космического пространства, испытания в условиях пониженного давления
- Напыление покрытий на крупногабаритные изделия
- Термическая обработка и вакуумная дегазация
- Плазменная и ионная обработка поверхностей
- Научные исследования в области физики, материаловедения и микроэлектроники
- Испытания компонентов электронной техники и приборов
Типичные значения параметров, улучшенные — по согласованию
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Форма камеры | Цилиндрическая (горизонтально или вертикально расположенные), прямоугольная или сложной формы |
| Полезный объем | 500–10 000 л и выше, исходя из требований |
| Материал | Нержавеющая сталь (12Х18Н10Т, AISI 304, 316L) Углеродистая сталь |
| Диапазон рабочего давления | От атмосферного до 10⁻⁶…10⁻⁸ Торр |
| Тип уплотнений | Эластомерные (FKM, Viton), круглого или прямоугольного сечения. Для сверхвысоковакуумных камер — медные уплотнения. |
| Доступ в вакуумный объём | Откатная дверь с электромеханическим или ручным приводом либо съёмные фланцы. |
| Порты/фланцы подключения | ISO-K — центрирующее и уплотнительное кольца, под струбцины ISO-F — центрирующее и уплотнительное кольца, под болты KF — быстроразъёмные соединения, под хомут ГОСТ — в основном эластичные уплотнения, под болты Нестандартные размеры/форма, в том числе прямоугольные |
| Температура прогрева | Обычно применяется для сверхвысоковакуумных камер. До 250°C (в зависимости от конструкции) |
| Обработка внутренней поверхности | Механическая полировка, локальная электрохимическая полировка |
| Сварные швы, контроль герметичности | Сварка ручная в среде защитных газов, сварные швы по ГОСТ 14771-76. Вакуумноплотные сварные швы проверяются на герметичность гелиевым течеискателем, течи в пределах чувствительности прибора не допускаются. |
| Габаритные размеры | Согласно ТЗ |
