Большие вакуумные камеры от производителя | АкадемВак
Связаться с нами
Контакты
Адрес
630090, г. Новосибирск,
ул. Инженерная 7/1, офис 36
Телефон
+7 (383) 375-04-27
Email
info@academvac.ru
Смотреть на карте
+7 (383) 375 94 07
Связаться с нами
Опишите установку и требуемый результат — предложим решение. Поможем выбрать формат работ и подготовим план действий.​ Отдел продаж: +7 (383) 375-94-07
Большие вакуумные камеры
Большие вакуумные камеры — изображение 2
Большие вакуумные камеры — изображение 3

Большие вакуумные камеры

Большие вакуумные камеры предназначены для технологических процессов и испытаний в условиях высокого (HV) и сверхвысокого (UHV) вакуума. Они обеспечивают возможность обработки крупногабаритных изделий, проведения масштабных исследований и интеграции сложной оснастки.

Конструкция камер отличается высокой надежностью, удобством эксплуатации и возможностью адаптации под задачи заказчика.

Характеристики

Конструкция и габариты
Форма камеры

Индивидуально по ТЗ, Прямоугольная, Цилиндрическая

Ориентация установки

Горизонтальная или вертикальная

Полезный объём

500–10 000 л и выше

Габаритные размеры

Согласно ТЗ

Материал корпуса

Нержавеющая сталь (12Х18Н10Т, AISI 304, 316L), Углеродистая сталь

Материал двери / колпака

—

Доступ в вакуумный объём

Откатная дверь с электромеханическим или ручным приводом, Съёмные фланцы

Механизм двери / колпака

Быстрое открывание, Двухшарнирные петли, Равномерное прилегание к уплотнителю

Габарит более 2 м

Да

Вакуумные и технологические параметры
Диапазон рабочего давления (базовая комплектация)

От атмосферного до 10⁻⁶…10⁻⁸ Торр

Диапазон рабочего давления (опция UHV)

—

Тип уплотнений

Для UHV — медные, Эластомерные (FKM, Viton), круглого или прямоугольного сечения

Температура прогрева, max

До 250 °C

Вакуумный отжиг / термообработка

—

Обработка внутренней поверхности

Механическая полировка, Пескоструйная, По требованиям, Электрохимическая полировка

Обработка внешней поверхности

Пескоструйная — по выбору

Совместимость с UHV-компонентами / режим

HV, UHV

Предварительная очистка

—

Порты и фланцы

ISO-F, ISO-K, KF, ГОСТ, Нестандартные, включая прямоугольные

Сварка / способ изготовления

Сварка ручная в среде защитных газов, ГОСТ 14771-79

Контроль герметичности

Гелиевый течеискатель

Скорость утечки (гелий)

< 1×10⁻⁹ мбар·л/с

Испытание на натекание

Все камеры проходят испытание на натекание

Комплектация, опции и заказ
Водяное охлаждение

По запросу

Смотровые окна

По компоновке

Вакуумные и электрические вводы

По компоновке

Внутреннее экранирование (μ-металл)

—

Дополнительная комплектация и опции

Источники, Крепления, Откачные системы, Плазменные модули, Смотровые окна, Управляющие стойки

Расчёт нагрузок (FEM-моделирование)

По запросу

Радиационно-защищённое исполнение

По запросу

Чертежи заказчика

Приветствуются, но не обязательны

Описание

Корпус камер изготавливается из нержавеющей стали (12Х18Н10Т, AISI 304, 316L, в редких случаях — из углеродистой стали) и имеет прочную, герметичную конструкцию. Возможны различные геометрии корпуса — цилиндрическая или прямоугольная — с индивидуальным проектированием объема, формы, размещения портов и внутренней оснастки.

Внутренние поверхности могут обрабатываться по выбору: пескоструйная, механическая или электрохимическая полировка. Камеры комплектуются фланцами CF, ISO-K, KF, смотровыми окнами, креплениями и интерфейсами под технологическое оборудование. По запросу возможна установка водяного охлаждения (двойные стенки или встроенные каналы) для отвода тепла при высокотемпературных процессах.

Дверца снабжена системой быстрого открывания и уплотнением, обеспечивающим высокую герметичность. Петли для открывания двери имеют двухшарнирную конструкцию, обеспечивающую равномерное прилегание двери к уплотнителю. Конструкция предусматривает возможность подключения откачных систем, источников напыления, плазменных модулей и управляющих стоек.

Все камеры проходят испытания на натекание с помощью гелиевого течеискателя (утечка < 1×10-9 мбар·л/с). При заказе чертежи приветствуются, но не обязательны — при необходимости мы разработаем полный комплект КД для изготовления.

Применение:

  • Имитация космического пространства, испытания в условиях пониженного давления
  • Напыление покрытий на крупногабаритные изделия
  • Термическая обработка и вакуумная дегазация
  • Плазменная и ионная обработка поверхностей
  • Научные исследования в области физики, материаловедения и микроэлектроники
  • Испытания компонентов электронной техники и приборов

Типичные значения параметров, улучшенные — по согласованию

Параметр Значение
Форма камеры Цилиндрическая (горизонтально или вертикально расположенные), прямоугольная или сложной формы
Полезный объем 500–10 000 л и выше, исходя из требований
Материал Нержавеющая сталь (12Х18Н10Т, AISI 304, 316L)
Углеродистая сталь
Диапазон рабочего давления От атмосферного до 10⁻⁶…10⁻⁸ Торр
Тип уплотнений Эластомерные (FKM, Viton), круглого или прямоугольного сечения.
Для сверхвысоковакуумных камер — медные уплотнения.
Доступ в вакуумный объём Откатная дверь с электромеханическим или ручным приводом либо съёмные фланцы.
Порты/фланцы подключения ISO-K — центрирующее и уплотнительное кольца, под струбцины
ISO-F — центрирующее и уплотнительное кольца, под болты
KF — быстроразъёмные соединения, под хомут
ГОСТ — в основном эластичные уплотнения, под болты
Нестандартные размеры/форма, в том числе прямоугольные
Температура прогрева Обычно применяется для сверхвысоковакуумных камер. До 250°C (в зависимости от конструкции)
Обработка внутренней поверхности Механическая полировка, локальная электрохимическая полировка
Сварные швы, контроль герметичности Сварка ручная в среде защитных газов, сварные швы по ГОСТ 14771-76.
Вакуумноплотные сварные швы проверяются на герметичность гелиевым течеискателем, течи в пределах чувствительности прибора не допускаются.
Габаритные размеры Согласно ТЗ

Лучшие продуктыДругое оборудование из категории

  • Вакуумные камеры D-образной формы

    Вакуумные камеры D-образной формы

  • Вакуумные камеры колпакового типа

    Вакуумные камеры колпакового типа

  • Прямоугольные вакуумные камеры

    Прямоугольные вакуумные камеры

  • Многогранные вакуумные камеры

    Многогранные вакуумные камеры