Полные характеристики:
- Диапазон температур: до 300 °C, до 800 °C, до 1100 °C, до 1600 °C, более 1800 °C (по запросу)
- Материал нагревателей: фехраль, вольфрам, молибден, графит в зависимости от макс. температуры
- Среда в рабочем пространстве: вакуум или инертный газ (смесь газов).
- Возможна комплектация с автономной системой охлаждения.
- Номинальная потребляемая мощность зависит от модели.
- Откачная система: безмасляная (турбомолекулярный насос с безмасляным форвакуумным насосом) или масляная (диффузионный насос с пластинчато-роторным насосом)
- Система управления с полной автоматизацией технологического процесса. Опционально возможна комплектация сенсорным дисплеем.
- Шлюзовая камера с манипулятором для перемещения подложек.