Полные характеристики
- Диапазон температур: до 300°C, до 800°C, до 1100°C, до 1600°C, более 1800°C (по запросу)
- Материал нагревателей: фехраль, вольфрам, молибден, графит в зависимости от макс. температуры
- Среда в рабочем пространстве: вакуум или инертный газ (смесь газов)
- Возможна комплектация с автономной системой охлаждения
- Номинальная потребляемая мощность зависит от модели
- Откачная система: безмасляная (турбомолекулярный насос с безмасляным форвакуумным насосом) или масляная (диффузионный насос с пластинчато-роторным насосом)
- Система управления с полной автоматизацией технологического процесса. Опционально возможна комплектация сенсорным дисплеем
- Шлюзовая камера с манипулятором для перемещения подложек