Характеристики
Размер камеры
~ Ø 400-700 мм
Универсальные вакуумные установки напыления ACADEMVAC-Uni
Серия универсальных вакуумных установок магнетронного и/или термического распыления для получения тонкоплёночных покрытий высокого качества. Установки имеют расширенные аналитические возможности для осуществления прецизионного контроля при отработке технологического процесса.
Описание
Возможна реализация расположения магнетронов со схемой распыления «снизу вверх» или «сверху вниз». Подходит для целей напыления металлических и диэлектрических тонких плёнок при мелкосерийном производстве устройств, отработке технологий.
Высокая надёжность, настраиваемость под особенности требуемого технологического процесса. Полностью безмасляный вакуум обеспечивается современными спиральными и турбомолекулярными насосами.
Опции
- Шлюзовая камера с манипулятором для перемещения подложек
- Специальный испаритель (LTE) для нанесения органических и коррозийных материалов
- Высоковакуумная откачная система для шлюзовой камеры
- Предварительная обработка подложек в шлюзовой камере (ионная очистка, прогрев)
- Система автоматизации установки с дисплеем
- Технологические карты для желаемых процессов
