Основные свойства:
- Вакуумная камера в форме цилиндра – это традиционное решение, зарекомендовавшее себя на протяжении многих десятилетий
- Камера оснащена подъемным механизмом, обеспечивающим как подъём только верхнего фланца, так и его подъём с обечайкой
- Все технологические элементы расположены на нижнем фланце, что обеспечивает облегчённый доступ к ним
- Размер камеры от 300 мм до 1 м в диаметре может варьироваться в зависимости от требуемой загрузки и размера подложек
- Размер подложек – до 300 мм, загрузка до 5 шт.
- Полностью безмасляная система вакуумной откачки, включающая высоковакуумный турбомолекулярный и форвакуумный спиральный насосы, позволяет добиться максимальной чистоты техпроцесса (по запросу тип вакуумных насосов может быть изменён)
- Может быть использовано до 10-ти термических источников
- В зависимости от задачи возможно использование разных типов термических источников: тигли, лодочки, спиральные нагреватели, низкотемпературные испарители для органических материалов
- Наличие пневматических заслонок позволяет точно контролировать техпроцесс
- Разграничение нижней части камеры на секции позволяет избежать взаимного загрязнения источников
Система цифрового управления позволяет полностью автоматизировать техпроцесс, сокращая время операций и увеличивая производительность
