Высокопроизводительные вакуумные установки напыления

ACADEMVAC-PRO - серия автоматизированных промышленных вакуумных установок. Выполнение процессов напыления тонких пленок с высокой точностью и повторяемостью. Установка может быть оснащена электронно-лучевым испарителем с несколькими тиглями большой загрузки для нанесения нескольких материалов в одном технологическом процессе. Система оптического спектрального контроля позволяет получать покрытия с заданными характеристиками с проведением контроля непосредственно во время напыления.
Для реализации установки с магнетронной системой используются протяженные источники для обеспечения высокой равномерности и большой загрузки подложек.

Характеристики:

Опции

• • Оснастка для подложек для напыления с двух сторон.
• • Подложкодержатель с дополнительной осью вращения подложек для увеличения равномерности.
• • Исполнение установки для чистой комнаты.
• • Исполнение с «вертикальным» напылением.
• • Емкостной вакуумный датчик для мониторинга давления с повышенной точностью ~0.2%.
• • Шлюзовая система.
• • Дополнительная дверь в вакуумной камере для технического обслуживания.
• • Материалы для распыления, в том числе драгоценные металлы.
• • Технологические карты для желаемых процессов.