ООО «АкадемВак». Вакуумное оборудование и инжиниринг.

   +7 (383) 375-04-27      info@academvac.ru
    5f95d588957b27c2a165
    Резидент приборостроительного бизнес-инкубатора Технопарка Новосибирского Академгородка
    LOGO GenerationS 2015 horizontal 1
    Победитель трэка в федеральном акселераторе GenerationS-2017
    logo new big
    Держатель гранта Фонда Содействия Инновациям

    Высокопроизводительные вакуумные установки напыления

    Высокопроизводительные вакуумные установки напыления

    ACADEMVAC-PRO - серия автоматизированных промышленных вакуумных установок. Выполнение процессов напыления тонких пленок с высокой точностью и повторяемостью. Установка может быть оснащена электронно-лучевым испарителем с несколькими тиглями большой загрузки для нанесения нескольких материалов в одном технологическом процессе. Система оптического спектрального контроля позволяет получать покрытия с заданными характеристиками с проведением контроля непосредственно во время напыления.
    Для реализации установки с магнетронной системой используются протяженные источники для обеспечения высокой равномерности и большой загрузки подложек.

    Установки магнетронного напыления ACADEMVAC-M/T

    Характеристики:

    tab1

    Опции

    • • Оснастка для подложек для напыления с двух сторон.
    • • Подложкодержатель с дополнительной осью вращения подложек для увеличения равномерности.
    • • Исполнение установки для чистой комнаты.
    • • Исполнение с «вертикальным» напылением.
    • • Емкостной вакуумный датчик для мониторинга давления с повышенной точностью ~0.2%.
    • • Шлюзовая система.
    • • Дополнительная дверь в вакуумной камере для технического обслуживания.
    • • Материалы для распыления, в том числе драгоценные металлы.
    • • Технологические карты для желаемых процессов.

    park

    Контактные данные:

    Адрес: Россия, г. Новосибирск, улица Инженерная, 20, офис №1
    Email: info@academvac.ru
    Тел.: +7 (383) 375-04-27; +7 913 922 11 80
    Сайт: www.academvac.ru

    Please publish modules in offcanvas position.