- Низкое газовыделение
- Отличная однородность тонкой пленки и скорость осаждения
- Эффективное использование мишени распыления
- Превосходный механизм фиксации мишени устраняет необходимость в термопастах, держателях и т. д.
- Компактная модульная магнитная решетка
- Магниты НЕ подвергаются воздействию вакуума
- Магниты НЕ подвергаются воздействию охлаждающей воды
- Охлаждающая вода отделена от мишени медной пластиной
- Возможна работа в несбалансированном режиме и совместимость с магнитными материалами
- Доступны индивидуальные конфигурации источника распыления
Магнетрон, 3 дюйма
Круглый магнетронный источник распыления. Традиционная конструкция зажимного типа с косвенным охлаждением и встроенным узлом анодного экрана. Оптимально подходит для НИОКР и мелкосерийного производства. В качестве мишени могут быть использованы практически любые материалы. Источник совместим с различными типами систем питания: RF, DC или Pulsed-DC.
