- Низкое газовыделение
- Отличная однородность тонкой пленки и скорость осаждения
- Эффективное использование мишени распыления
- Превосходный механизм фиксации мишени устраняет необходимость в термопастах, держателях и т. д.
- Компактная модульная магнитная решетка
- Магниты НЕ подвергаются воздействию вакуума
- Магниты НЕ подвергаются воздействию охлаждающей воды
- Охлаждающая вода отделена от мишени медной пластиной
- Возможна работа в несбалансированном режиме и совместимость с магнитными материалами
- Доступны индивидуальные конфигурации источника распыления