Магнетрон (3 дюйма) круглый для любого материала | АкадемВак
Связаться с нами
Контакты
Адрес
630090, г. Новосибирск,
ул. Инженерная 7/1, офис 36
Телефон
+7 (383) 375-04-27
Email
info@academvac.ru
Смотреть на карте
+7 (383) 375 94 07
Связаться с нами
Опишите установку и требуемый результат — предложим решение. Поможем выбрать формат работ и подготовим план действий.​ Отдел продаж: +7 (383) 375-94-07
Магнетрон, 3 дюйма
Магнетрон, 3 дюйма — изображение 2

Магнетрон, 3 дюйма

Круглый магнетронный источник распыления. Традиционная конструкция зажимного типа с косвенным охлаждением и встроенным узлом анодного экрана. Оптимально подходит для НИОКР и мелкосерийного производства. В качестве мишени могут быть использованы практически любые материалы. Источник совместим с различными типами систем питания: RF, DC или Pulsed-DC.

Характеристики

Форма

Круглый

Диаметр мишени

3 дюйма

Охлаждение

Косвенное водяное, вода отделена от мишени медной пластиной

Анодный экран

Встроенный

Фиксация мишени

Зажимная, без термопасты и держателей

Совместимое питание

RF, DC, импульсный DC

Магнитная система

Модульная решётка, магниты вне вакуума и вне воды

Несбалансированный режим

Возможен

Магнитные материалы мишени

Совместим

Описание

  • Низкое газовыделение
  • Отличная однородность тонкой пленки и скорость осаждения
  • Эффективное использование мишени распыления
  • Превосходный механизм фиксации мишени устраняет необходимость в термопастах, держателях и т. д.
  • Компактная модульная магнитная решетка
  • Магниты НЕ подвергаются воздействию вакуума
  • Магниты НЕ подвергаются воздействию охлаждающей воды
  • Охлаждающая вода отделена от мишени медной пластиной
  • Возможна работа в несбалансированном режиме и совместимость с магнитными материалами
  • Доступны индивидуальные конфигурации источника распыления

Лучшие продуктыДругое оборудование из категории

  • Магнетрон

    Магнетрон, 2 дюйма