Магнетрон (2 дюйма) круглый для любых материалов | АкадемВак
ООО «АкадемВак». Вакуумное оборудование и инжиниринг.
Связаться с нами
ООО «АкадемВак». Вакуумное оборудование и инжиниринг.
Позвоните нам:+7 (383) 375-04-27
Контакты
Адрес
630090, г. Новосибирск,
ул. Инженерная 7/1, офис 36
Телефон
+7 (383) 375-04-27
Email
info@academvac.ru

Магнетрон, 2 дюйма

Магнетрон, 2 дюйма

Круглые магнетронные источники распыления. Традиционная конструкция зажимного типа с косвенным охлаждением и встроенным узлом анодного экрана. Оптимально подходит для НИОКР и мелкосерийного производства. В качестве мишени могут быть использованы практически любые материалы. Источник совместим с различными типами систем питания: RF, DC или Pulsed-DC.

  • Низкое газовыделение
  • Отличная однородность тонкой пленки и скорость осаждения
  • Эффективное использование мишени распыления
  • Превосходный механизм фиксации мишени устраняет необходимость в термопастах, держателях и т. д.
  • Компактная модульная магнитная решетка
  • Магниты НЕ подвергаются воздействию вакуума
  • Магниты НЕ подвергаются воздействию охлаждающей воды
  • Охлаждающая вода отделена от мишени медной пластиной
  • Возможна работа в несбалансированном режиме и совместимость с магнитными материалами
  • Доступны индивидуальные конфигурации источника распыления