Высокопроизводительные вакуумные установки напыления ACADEMVAC-PRO
ACADEMVAC-PRO — серия автоматизированных промышленных вакуумных установок. Выполнение процессов напыления тонких пленок с высокой точностью и повторяемостью. Установка может быть оснащена электронно-лучевым испарителем с несколькими тиглями большой загрузки для нанесения нескольких материалов в одном технологическом процессе.
Описание
Система оптического спектрального контроля позволяет получать покрытия с заданными характеристиками с проведением контроля непосредственно во время напыления.
Для реализации установки с магнетронной системой используются протяженные источники для обеспечения высокой равномерности и большой загрузки подложек.
Опции
- Оснастка для подложек для напыления с двух сторон
- Подложкодержатель с дополнительной осью вращения подложек для увеличения равномерности
- Исполнение установки для чистой комнаты
- Исполнение с «вертикальным» напылением
- Емкостной вакуумный датчик для мониторинга давления с повышенной точностью ~0.2%
- Шлюзовая система
- Дополнительная дверь в вакуумной камере для технического обслуживания
- Материалы для распыления, в том числе драгоценные металлы
- Технологические карты для желаемых процессов
