Система оптического спектрального контроля позволяет получать покрытия с заданными характеристиками с проведением контроля непосредственно во время напыления.

Для реализации установки с магнетронной системой используются протяженные источники для обеспечения высокой равномерности и большой загрузки подложек.

Опции:

• Оснастка для подложек для напыления с двух сторон.
• Подложкодержатель с дополнительной осью вращения подложек для увеличения равномерности.
• Исполнение установки для чистой комнаты.
• Исполнение с «вертикальным» напылением.
• Емкостной вакуумный датчик для мониторинга давления с повышенной точностью ~0.2%.
• Шлюзовая система.
• Дополнительная дверь в вакуумной камере для технического обслуживания.
• Материалы для распыления, в том числе драгоценные металлы.
• Технологические карты для желаемых процессов.