Основные свойства
- Вакуумная камера в форме призмы, с большой передней дверью на регулируемых петлях обеспечивает удобный доступ ко всем технологическим источникам
- Размер камеры может варьироваться в зависимости от требуемой загрузки и размера подложек
- Полностью безмасляная система вакуумной откачки, включающая высоковакуумный турбомолекулярный и форвакуумный спиральный насосы, позволяет добиться максимальной чистоты техпроцесса (по запросу тип вакуумных насосов может быть изменён)
- Барабанный тип подложкодержателя позволяет эффективно и равномерно наносить покрытие на большое количество образцов одновременно
- Диаметр подложкодержателя может составлять до 700 мм
- Может быть использовано до 4 прямоугольных магнетронов с вертикальным расположением, что позволяет создавать многослойные покрытия
- Откидывающиеся фланцы для магнетронов позволяют максимально удобно провести техобслуживание и замену мишеней
- В зависимости от задач могут быть использованы следующие типы источников питания магнетронов: RF, DC, HIPIMS или их комбинация
- Наличие пневматических заслонок позволяет точно контролировать техпроцесс
- Ионный источник (с анодным слоем или End-Hall) для ассистирования и для очистки подложек может быть добавлен по запросу
- Система цифрового управления позволяет полностью автоматизировать техпроцесс, сокращая время операций и увеличивая производительность
Область применения
Упрочняющие покрытия, декоративные покрытия, системы с высокой производительностью.
