Основные свойства
- Легкая за счёт тонкой боковой стенки D-образная камера с большой передней дверью на регулируемых петлях обеспечивает удобный доступ ко всем технологическим источникам
- Размер камеры может варьироваться в зависимости от требуемой загрузки и размера подложек
- Размер подложек – до 150 мм, загрузка до 5 шт.
- Полностью безмасляная система вакуумной откачки, включающая высоковакуумный турбомолекулярный и форвакуумный спиральный насосы, позволяет добиться максимальной чистоты техпроцесса (по запросу тип вакуумных насосов может быть изменён)
- Может быть использовано до 4-х термических источников
- В зависимости от задачи возможно использование разных типов термических источников: тигли, лодочки, спиральные нагреватели, низкотемпературные испарители для органических материалов
- Наличие пневматических заслонок позволяет точно контролировать процесс напыления
- Разграничение нижней части камеры на секции позволяет избежать взаимного загрязнения источников
- Ионный источник (с анодным слоем или End-Hall) для ассистирования и для очистки подложек может быть добавлен по запросу
- Удобный доступ ко всем элементам установки позволяет легко заменить материалы для напыления в термических источниках, демонтировать для чистки экраны, защищающие стенки камеры от запыления
- Система цифрового управления позволяет полностью автоматизировать техпроцесс, сокращая время операций и увеличивая производительность
Область применения
Изготовление сенсоров, гибких светодиодов, металлизация образцов, изготовление контактов и др.
